SlidePub
Home
Categories
Login
Register
Home
Technology
Lec 2,3 Chapter 2 MEMS ترجمة.pdf
Lec 2,3 Chapter 2 MEMS ترجمة.pdf
MhmdGhnm1
7 views
49 slides
Oct 18, 2025
Slide
1
of 49
Previous
Next
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
33
34
35
36
37
38
39
40
41
42
43
44
45
46
47
48
49
About This Presentation
MeMs
Size:
3.47 MB
Language:
none
Added:
Oct 18, 2025
Slides:
49 pages
Slide Content
Slide 1
تاﺮﺿﺎﺤﻣ ﻦﻋ ﻢﻴﻤﺼﺗ ﻊﻴﻨﺼﺗو ﻢﻈﻨﻟا ﺔﻴﻜﻴﻧﺎﻜﻴﻣوﺮﻬﻜﻟاةﺮﻴﻐﺼﻟاو
ئدﺎﺒﻣ ﻞﻤﻋ ﻢﻈﻨﻟا ﺔﻴﻜﻴﻧﺎﻜﻴﻣوﺮﻬﻜﻟا ىﺮﻐﺼﻟا ﻢﻈﻨﻟاو
ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا
ﻮﺴﻫ2008
ﻞﺼﻔﻟا2
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 2
:ﻊﻣ
• اًﺮﻈﻧ مﺎﺠﺣﻸﻟ ، ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا ﻞﻤﻌﺗ تﺎﻛﺮﺤﻤﻟا ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا ﲆﻋ ئدﺎﺒﻣ ﺔﻔﻠﺘﺨﻣ ﺎًﻳرﺬﺟ ﻦﻋ ﻞﺋﺎﺳﻮﻟا ﺔﻴﺴﻴﻃﺎﻨﻐﻣوﺮﻬﻜﻟا ، ﺔﻳﺪﻴﻠﻘﺘﻟا
ﻞﺜﻣ تﺎﻔﻠﻤﻟا ﺔﻴﺒﻟﻮﻠﻟا تﺎﻛﺮﺤﻣو رﺎﻴﺘﻟا / ددﺮﺘﻤﻟا رﺎﻴﺘﻟا.ﺮﻤﺘﺴﻤﻟا
عرﺎﺴﺘﻟا ﺔﻋﺮﺴﻟا) ، (ىﻮﻘﻟاو ءﺎﻴﻤﻴﻜﻟا ﺔﻴﺟﻮﻟﻮﻴﺒﻟا ﺔﻴﺒﻄﻟاو ، ﺔﻳﻮﻴﺤﻟا ىﻮﻘﻟا ﲆﻋ) ﻞﻴﺒﺳ ، لﺎﺜﻤﻟا
ةﺰﻬﺟأ سﺎﻴﻗ عرﺎﺴﺘﻟا ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا(تﺎﺑﻮﻜﺳوﺮﻴﺠﻟاو
ًﻻﺪﺑ ﻦﻣ ، ﻚﻟذ مﺪﺨﺘﺴُﺗ ﻚﺋﺎﺒﺴﻟا ، ﺔﻴﻜﻴﺗﺎﺘﺳوﺮﻬﻜﻟا ، ﺔﻳراﺮﺤﻟاو ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟاو ، ﺔﻴﻃﺎﻐﻀﻧﻻا ﻚﺋﺎﺒﺳو ةﺮﻛاذ ﻞﻜﺸﻟا
ﲆﻋ قﺎﻄﻧ ﻊﺳاو ﻲﻓ تﺎﻴﻠﻤﻌﻟا.ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا
، يﺮﺼﺑ ، ﻂﻐﺿ يراﺮﺣ تﺎﺟرد) ، (ةراﺮﺣ.ﺦﻟإ
مﺪﻘﻴﺳ اﺬﻫ ﻞﺼﻔﻟا ئدﺎﺒﻣ ﻞﻤﻌﻟا ﻒﻠﺘﺨﻤﻟ ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا تﻼﻐﺸﻤﻟاو ﻲﻓ ﻢﻈﻨﻟا.ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا
ﺪﻗ نﻮﻜﺗ تﺎﻨﻴﻋ :لﺎﺧدﻹا ﺔﻛﺮﺣ ﻞﺋاﻮﺳ وأ تازﺎﻏ ﺔﺒﻠﺻ وأ، ﺔﻃﻮﻐﻀﻣ
• ﻦﻣ ﻊﻗﻮﺘﻤﻟا نأ ﻒﺸﺘﻜﺗ تاﺮﻌﺸﺘﺴﻣ ﻖﺋﺎﻗﺪﻟا ﺔﻋﻮﻤﺠﻣ ﺔﻋﻮﻨﺘﻣ ﻦﻣ تارﺎﺷﻹاﺔﻄﺒﺗﺮﻤﻟا
داﻮﻤﻟا ﺔﻴﺟﻮﻟﻮﻴﺒﻟا.ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟاو
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 3
داﺪﻣإ
يﺮﻬﺠﻣ
ﺢﻴﺿﻮﺘﻟا
ةرﺎﺷﻹا
رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا
ةﺪﺣو
ئدﺎﺒﻣ ﻞﻤﻌﻟا ةﺰﻬﺟﻷ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻاﺔﻘﻴﻗﺪﻟا
ﺮﺼﻨﻋ
جﺎﺘﻧا|
ةﻮﻗ
ﻞﺧﺪﻣ
ةرﺎﺷﻹا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 4
ﻖﻴﺒﻄﺘﻟا ﻲﺳﺎﺳﻷا هﺬﻬﻟ تاﺮﻌﺸﺘﺴﻤﻟا ﻮﻫ ﻞﻤﻌﻟا ﻞﺜﻣ تﺎﺤﺷﺮﻣ" "قﺎﻄﻨﻟا ﻲﻓ ﻒﺗاﻮﻬﻟا ﺔﻟﻮﻤﺤﻤﻟا تﺎﻄﺤﻤﻟاو.ﺔﻳﺪﻋﺎﻘﻟا
ﺐﺒﺴﺘﻟا ﻲﻓ ﺮﻴﻴﻐﺗ بﺎﻄﻗأ ﻊﺒﺻﻹا ﻲﻓ فﺮﻌﻣ" "جاﺮﺧﻹا• يأ ﺮﻴﻴﻐﺗ ﻲﻓ
ﺺﺋﺎﺼﺧ داﻮﻤﻟا تﺎﻤﺠﻬﻟا) (ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا وأ ﺔﺳﺪﻨﻬﻟا ﺐﺒﺴﺑ مﺰﻋ ناروﺪﻟا
يدﺆﻴﺳ ﱃإ ﺮﻴﻴﻐﺗ / لﺎﺧدﻹا جاﺮﺧﻹا ﻦﻴﺑ فﺮﻌﻣ" "لﺎﺧدﻹا و فﺮﻌﻣ" ."جاﺮﺧﻹا
• ﻦﻜﻤﻳ ﻲﻟﺎﺘﻟﺎﺑ رﺎﻌﺸﺘﺳا ﺔﺌﻴﺑ ﺲﻣﻼﺘﻟا وأﻂﻐﻀﻟا
ﻞﻤﺸﺗ تﺎﻘﻴﺒﻄﺘﻟا:ىﺮﺧﻷا
• ﻢﺘﻳ ءﺎﺸﻧإ ﻦﻴﺘﻋﻮﻤﺠﻣ ﻦﻣ تﻻﻮﺤﻣ" ﺔﻗﺎﻄﻟا ﻦﻴﺑ (TDI) "ﻊﺑﺎﺻﻷا ﲆﻋ ﺔﻘﺒﻃ
ﺔﻴﻄﻐﺿﺮﻬﻛ ﺔﻠﺼﺘﻣ ﺔﻘﺒﻄﺑ ﺔﻴﺳﺎﺳأ ةﺮﻴﻐﺻ ﺎﻤﻛ ﻮﻫ ﺢﺿﻮﻣ• ﻂﻴﺸﻨﺘﻟا ﺔﻄﺳاﻮﺑ
رﺪﺼﻣ رﺎﻴﺗ ددﺮﺘﻣ ﱃإIDT" "Input يدﺆﻴﺳ ﱃإ قﻼﻏإ ﺢﺘﻓو تاﻮﺠﻓ بﺎﻄﻗأ
، ﻊﺒﺻﻹا ﻲﻟﺎﺘﻟﺎﺑو ﺢﻄﺴﻟا / هﻮﺸﺗ طﻮﻐﺿ ﻞﻘﺘﻨﺗ ﻦﻣ لﻼﺧ داﻮﻤﻟا ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا
وﺰﻴﺑ
تاﺮﻌﺸﺘﺴﻣ تﺎﺟﻮﻤﻟاﺔﻴﺗﻮﺼﻟا
• رﺎﻌﺸﺘﺳا مﺰﻋ ناروﺪﻟا ﻂﻐﺿو تارﺎﻃﻹا• رﺎﻌﺸﺘﺳا داﻮﻤﻟا ﺔﻴﺟﻮﻟﻮﻴﺒﻟا
ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟاو• رﺎﻌﺸﺘﺳا ةﺮﺨﺑﻷا ﺔﺑﻮﻃﺮﻟاو ﺔﺟردو ةراﺮﺤﻟا• ﺔﺒﻗاﺮﻣ ﻖﻓﺪﺗ ﻞﺋاﻮﺴﻟا
ﻲﻓ ﻊﺋاﻮﻤﻟاﺔﻘﻴﻗﺪﻟا
ﻻ ﻂﺒﺗﺮﻳ ﺮﻌﺸﺘﺴﻣ تﺎﺟﻮﻤﻟا ﺔﻴﺗﻮﺼﻟا رﺎﻌﺸﺘﺳﺎﺑ تﺎﺟﻮﻤﻟا ﺔﻴﺗﻮﺼﻟا ﺔﻟﻮﻘﻨﻤﻟا ﻲﻓ داﻮﻤﻟا ﺔﺒﻠﺼﻟا وأ ﺎﻫﺮﻴﻏ ﻦﻣ ، ﻂﺋﺎﺳﻮﻟا ﺎﻤﻛ ﻲﺣﻮﻳ.ﻢﺳﻻا
• فﻮﺳ هﻮﺸﺗ / ﺢﻄﺴﻟاطﻮﻐﻀﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 5
ﺰﻤﻴﻣﻮﻴﺑ
ﻞﻤﺸﺗBioMEMS تﻻﺎﺠﻤﻟا ﺔﻴﺴﻴﺋﺮﻟا ﺔﺛﻼﺜﻟا:ﺔﻴﻟﺎﺘﻟا
(1) ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﺔﻳﻮﻴﺤﻟا ﺪﻳﺪﺤﺘﻟ سﺎﻴﻗو داﻮﻤﻟا، ﺔﻴﺟﻮﻟﻮﻴﺒﻟا
نﺎﻛ ﺢﻠﻄﺼﻣ"BioMEMS" ﺎًﺤﻠﻄﺼﻣ ﺎًﻌﺋﺎﺷ ﻲﻓ ﺔﻋﺎﻨﺻ ﻢﻈﻨﻟا ﺔﻴﻜﻴﻧﺎﻜﻴﻣوﺮﻬﻜﻟا ىﺮﻐﺼﻟا(MEMS) ﻲﻓ تاﻮﻨﺴﻟا ةﺮﻴﺧﻷا ﺐﺒﺴﺑ
تﺎﻗاﺮﺘﺧﻻا ةﺪﻳﺪﻌﻟا ﻲﻓ هﺬﻫ ، ﺎﻴﺟﻮﻟﻮﻨﻜﺘﻟا ﻲﺘﻟاو ﺪﻘﺘﻌﻳ نوﺮﻴﺜﻜﻟا ﺎﻬﻧأ يدﺆﺗ ﱃإ ﻒﻴﻔﺨﺘﻟا ﻦﻣ عﺎﻔﺗرا ﻒﻴﻟﺎﻜﺗ ﺔﻳﺎﻋﺮﻟا ﺔﻴﺤﺼﻟا ﻲﻓ ﺪﻳﺪﻌﻟا
ﻦﻣ ناﺪﻠﺒﻟا. .ﺔﻴﻋﺎﻨﺼﻟا
(3) ﺔﻤﻈﻧأBioanalytical رﺎﺒﺘﺧﻼﻟ.ﺺﻴﺨﺸﺘﻟاو
(2) تاودﻷا ﺔﻳﻮﻴﺤﻟا تاودﻷاو ، ﺔﻴﺣاﺮﺠﻟاو
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 6
(2) ﻒﻴﻜﺘﻟا ﻊﻣ تاودﻷا تاﺪﻌﻤﻟاو.ةدﻮﺟﻮﻤﻟا
:ﺔﻈﺣﻼﻣ ﻊﻀﺨﺗ ﻊﻴﻤﺟ تﺎﺠﺘﻨﻣbioMEMS ﺎًﺒﻳﺮﻘﺗ ﺔﻘﻓاﻮﻤﻟ ﻖﻳﻮﺴﺘﻟا ﻦﻣ ﻞﺒِﻗ ةرادإ ءاﺬﻐﻟا ءاوﺪﻟاو( FDA ) ﺔﻌﺑﺎﺘﻟا
ﺔﻣﻮﻜﺤﻠﻟ.ﺔﻴﻜﻳﺮﻣﻷا
(3) ﻖﻓاﻮﺘﻟا ﻊﻣ ﺔﻤﻈﻧﻷا ﺔﻴﺟﻮﻟﻮﻴﺒﻟا.ﻰﺿﺮﻤﻠﻟ
(4) ﺔﻴﻧﺎﻜﻣإ ﻢﻜﺤﺘﻟا ﻞﻘﻨﺘﻟاو ﺔﻟﻮﻬﺳو ﻞﻘﻨﺘﻟا تﺎﻴﻠﻤﻌﻟ ﻞﺜﻣ ﻚﻠﺗ ﺔﺑﻮﻠﻄﻤﻟا ﻲﻓ ﺔﺣاﺮﺟ رﺎﻈﻨﻣ.ﻦﻄﺒﻟا
تﻼﻜﺸﻤﻟا ﺔﻴﻨﻔﻟا ﺔﻴﺴﻴﺋﺮﻟا ﻲﻓ تﺎﺠﺘﻨﻣBioMEMS:
(5) ﻒﺋﺎﻇو ﻞﻛﺎﻴﻫMEMS تاذ ﺔﺒﺴﻧ ضﺮﻌﻟا ﱃإ عﺎﻔﺗرﻻاﺔﻴﻟﺎﻌﻟا
(1) ﻒﺋﺎﻇو تﺎﻴﻠﻤﻌﻟا ﺔﻴﺒﻄﻟا ﺔﻳﻮﻴﺤﻟا.ةدﻮﺼﻘﻤﻟا
فﱠﺮﻌُﻳ) ﻪﻧﺄﺑ ﺔﺒﺴﻧ دﺎﻌﺑﻷا ﻲﻓ ﻖﻤﻋ ﻞﻜﻴﻬﻟا ﱃإ دﺎﻌﺑأ(ﺢﻄﺴﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 7
تﺎﺴﺠﻣ ﺐﻄﻟايﻮﻴﺤﻟا
ةﺪﺣو :ﻞﻳﻮﺤﺘﻟا ﺞﺗﺎﻧ يأ تﻼﻋﺎﻔﺗ ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻛ ﻦﻴﺑ ﺔﻨﻴﻌﻟا ةدﺎﻤﻟاو ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا ﻲﻓ ﺮﺼﻨﻋ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا لﻮﺤﻴﺳ ﻪﺴﻔﻧ ﱃإ ةرﺎﺷإ ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻛ
ﲆﻋ) ﻞﻴﺒﺳ لﺎﺜﻤﻟا ﻲﻓ ﻲﻠﻣ ، ﺖﻟﻮﻓ تارﺎﻴﺴﻟﺎﺑ.(ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا
تﺎﺳﺎﻴﻘﻟ داﻮﻤﻟا ﺔﻴﺟﻮﻟﻮﻴﺒﻟا ﻲﻓ ﺔﻨﻴﻌﻟا ﺎًﻀﻳأو ضاﺮﻏﻷ ﺺﻴﺨﺸﺘﻟا.ﻲﺒﻄﻟا
ةرﺎﺷإ :جﺮﺨﻟا ةرﺎﺷﻹا ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا ﺔﻟﻮﺤﻤﻟا ةدﺎﻋ تارﺎﻴﺴﻟﺎﺑ.تارﺎﻴﺴﻟﺎﺑ
ةرﺎﺷإ :لﺎﺧدﻹا ﺔﻨﻴﻌﻟا ﺔﻴﺟﻮﻟﻮﻴﺒﻟا ﲆﻋ) ﻞﻴﺒﺳ ، لﺎﺜﻤﻟا تﺎﻨﻴﻋ مﺪﻟا وأ ﻞﺋاﻮﺳ ﻢﺴﺠﻟا ةدﺎﻋﻲﻓ
ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﺔﻴﺒﻄﻟا ﺔﻳﻮﻴﺤﻟا ةﺰﻬﺟأو رﺎﻌﺸﺘﺳﻻاﺔﻳﻮﻴﺤﻟا
ﻎﻠﺒﻣ ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا ﻲﻓL وأnL)
مﺪﺨﺘﺴﺗ هﺬﻫ تاﺮﻌﺸﺘﺴﻤﻟا ﲆﻋ قﺎﻄﻧ ﻊﺳاو ﻲﻓ ﺺﻴﺨﺸﺘﻟا ﻲﺒﻄﻟا ﺔﻳﺎﻤﺣو ﺔﺌﻴﺒﻟا فﺎﺸﺘﻛاو ﺔﻳودﻷا ، ﺎﻬﻟﺎﺼﻳإو.ﺦﻟإ
ﺮﺼﻨﻋ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا :ﻖﻴﻗﺪﻟا ةدﺎﻣ ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻛ ﻞﻋﺎﻔﺘﺗ ﻊﻣ.ﺔﻨﻴﻌﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 8
+H + H
• قﺮﻔﻟا ﻲﻓ ﺪﻬﺠﻟا ﻦﻴﺑ ﻦﻴﺒﻄﻘﻟا ﺐﺒﺴﺑ ﻢﻛاﺮﺗ ﺐﻄﻘﻟا ﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا ﻲﻓPt ﻖﻠﻌﺘﻳ ﺔﻴﻤﻜﺑ زﻮﻛﻮﻠﺠﻟا ﻲﻓ ﺔﻨﻴﻋ.مﺪﻟا
• لا2H
2
+H + H
ا
ﺮﺟﺎﻬﻳ ﻮﺤﻧ ﻢﻠﻴﻓPt ﻲﻓ ﺔﻴﻠﻤﻋ ﻞﻴﻠﺤﺘﻟا ، ﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟاﻢﻛاﺮﺘﻳو
2.
لﻮﻠﺤﻣ لﻮﺤﻛ ﻲﻟﻮﺑﻞﻴﻨﻴﻓ
لﻮﻠﺤﻣ لﻮﺤﻛ ﺞﺘﻨﻳوح
ا
• زﻮﻛﻮﻠﺠﻟا ﻲﻓ ﺔﻨﻴﻋ مد ﺾﻳﺮﻤﻟا ﻞﻋﺎﻔﺘﻳ ﻊﻣO
ﺔﻨﻴﻋمد
2
AgCl Ag / ﺐﻄﻘﻟاﻲﻌﺟﺮﻤﻟا
ﺐﻄﻗﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻛ
أﺪﺒﻣ:ﻞﻤﻌﻟا
2
ﺎﻧأ
سﺎﺴﺣ سﺎﻴﻘﻟ ﺰﻴﻛﺮﺗ زﻮﻛﻮﻠﺠﻟا ىﺪﻟ.ﺾﻳﺮﻤﻟا
ﻲﻓ ﻲﻟﻮﺒﻟاﻞﻴﻨﻴﻓ
تﺎﻘﺒﻃ ﻲﻓ اﺬﻫ.ﺐﻄﻘﻟا
ح+
لﺎﺜﻣ ﲆﻋ زﺎﻬﺟ رﺎﻌﺸﺘﺳا ﻲﺒﻃ:يﻮﻴﺣ
ح2
ﺲﻣﺎﺨﻟا
ﻲﻓ2H
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 9
ب
ب
ﺔﻠﻠﺤﻤﻟا
ﺮﻌﺸﺘﺴﻤﻟا
لﻮﺤﻣ ﺮﻴﺛﺄﺗ(لﺎﺠﻤﻟا
ISFET نﻮﻳأ)ﺔﺳﺎﺴﺤﻟا
داﺪﻣإ
بب
ﻦﻴﻧر
ب
ءيﺰﺟيﻮﻴﺣ
ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻛوﺮﻬﻜﻟا
ب
ﻢﺘﻳ ءاﺮﺟإ ﻞﻘﻧ ةرﺎﺷﻹا ﺔﻄﺳاﻮﺑ ﺮﺼﻨﻋ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﺎﻤﻛ ﻮﻫ ﺢﺿﻮﻣ:هﺎﻧدأ
داﻮﻤﻟاﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا
تارﺎﺷإ
ﺔﻘﺒﻃ ءيﺰﺠﻟايﻮﻴﺤﻟا
ﻞﻤﻌﺗ هﺬﻫ تاﺮﻌﺸﺘﺴﻤﻟا ﲆﻋ أﺪﺒﻣ تﻼﻋﺎﻔﺘﻟا ﻦﻴﺑ تﺎﺌﻳﺰﺠﻟا ﺔﻳﻮﻴﺤﻟا ﻲﻓ ﺔﻨﻴﻌﻟا ﻞﻴﻠﺤﺘﻟاو ةدﺎﻋ) ﻲﻓ (لﻮﻠﺤﻤﻟا ﻲﻓ.ﺮﻌﺸﺘﺴﻤﻟا
جﺎﺘﻧا| يراﺮﺣ
ب
ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻاﺔﻳﻮﻴﺤﻟا
ب
يﺮﺼﺑ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 10
ﺎﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻛ
ﺔﻤﻫﺎﺴﻣﺪﻬﺠﻟا
(2) تاﺮﻌﺸﺘﺴﻣ ﻒﺜﻜﻤﻟا.ﻲﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا
ﺮﻴﻴﻐﺗﺔﻌﺴﻟا
(1) تاﺮﻌﺸﺘﺴﻣ ﺔﻣوﺎﻘﻤﻟا.ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا
:جﺎﺘﻧا
ﺮﻴﻴﻐﺗﺔﻣوﺎﻘﻤﻟا
كﺎﻨﻫ ﺔﻌﺑرأ(4) عاﻮﻧأ ﺔﻌﺋﺎﺷ ﻦﻣ ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا:ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا
رﺎﻴﺗ لﺎﺧدﻹا وأﺪﻬﺠﻟا
:جﺎﺘﻧا
ﻞﻘﻧ ةرﺎﺷﻹا ﻮﻫ ﺮﻴﻴﻐﺗ ﺺﺋﺎﺼﺨﻟا ﺔﻴﺋﺎﻳﺰﻴﻔﻟا داﻮﻤﻟ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﺪﻌﺑ عﻮﻧ ﻦﻴﻌﻣ ﻦﻣ تﻼﻋﺎﻔﺘﻟا.ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا
جاردإﻲﻧﺪﻌﻣ
ﻞﻤﻋا ﲆﻋ ئدﺎﺒﻣ ﺔﻄﻴﺴﺑ تﻼﻋﺎﻔﺘﻠﻟ ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا ﻦﻴﺑ ، ﺔﻨﻴﻌﻟا ﲆﻋ ﻞﻴﺒﺳ ، لﺎﺜﻤﻟاO2 داﻮﻣو ، رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﲆﻋ ﻞﻴﺒﺳ ، لﺎﺜﻤﻟا.نﺪﻌﻣ
سﺎﻴﻗزﺎﻐﻟا
ﺪﻴﻤﻴﻟﻮﺑ
تﺎﺴﺠﻣﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻛ
سﺎﺴﺣ
بﺎﻄﻗأﺔﻴﻧﺪﻌﻣ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 11
SnO2
(3) ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا : ﺔﻴﻜﻴﻧﺎﻜﻴﻤﻟا ﻞﻤﻌﺗ ﲆﻋ داﻮﻣ ﺔﻨﻴﻌﻣ ﻞﺜﻣ) (تاﺮﻤﻴﻟﻮﺒﻟا ﻲﺘﻟا ﺮﻴﻐﺗ ﺎﻬﻟﺎﻜﺷأ ﺪﻨﻋ ﺎﻬﺿﺮﻌﺗ داﻮﻤﻠﻟ .ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا
دﺪﺤﻳ سﺎﻴﻗ ﺮﻴﻐﺗ ﻞﻜﺷ داﻮﻣ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا دﻮﺟو ةدﺎﻤﻟا.ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا
(4) تاﺮﻌﺸﺘﺴﻣ زﺎﻏ ﺪﻴﺴﻛأ : ندﺎﻌﻤﻟا داﻮﻣ :رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﺾﻌﺑ داﻮﻤﻟا ﻪﺒﺷ ، ﺔﻠﺻﻮﻤﻟا ﲆﻋ ﻞﻴﺒﺳ ، لﺎﺜﻤﻟاSnO2 ﺮﻴﻐﺗ ﺎﻬﺘﻣوﺎﻘﻣ
ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا ﺪﻨﻋ ﺎﻬﺿﺮﻌﺗ داﻮﻤﻟ ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻛ.ﺔﻨﻴﻌﻣ
SiO2
سﺎﻴﻗزﺎﻐﻟا
ةﺰﻴﻛرنﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا
لﺎﺼﺗﻻاﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا
ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا- ﻊﺑﺎﺗ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 12
CuOBaTiO3 /
زﺎﻐﻟا داﺮﻤﻟا ﻒﺸﻜﻟاﻪﻨﻋ
NH3
O3
ﺔﻄﻘﻧ
SnO2
ﻮﻛ
CuO
Au
CONO2،
ZnO
Sb2O3
Fe2O3
تاﺮﻌﺸﺘﺴﻣ زﺎﻏ ﺪﻴﺴﻛأ نﺪﻌﻤﻟا:ةﺮﻓﻮﺘﻤﻟا
La2O3 ، تﺎﻧﻮﺑﺮﻛ مﻮﻴﺴﻟﺎﻜﻟا3
H2S
MoO3
ﻻﺪﺣأ
تﺎﻧﻮﺑﺮﻛورﺪﻴﻬﻟاﺔﻨﺠﻠﻬﻤﻟا
In2O3
ﻲﻧﺎﺛ ﺪﻴﺴﻛأنﻮﺑﺮﻜﻟا
ﻮﻛ
SnO2
Au+ doped Ti-
ﺔﻄﻘﻧ
، ﺲﻣﺎﺨﻟاﻮﻣ
ﻮﻛ
SnO2
WO3
ﻻﺪﺣأ
SnO2
لﻮﺤﻛ
ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﺔﻴﺋﺎﻴﻤﻴﻜﻟا- ﻊﺑﺎﺗ
تﺎﻓﺎﺿإﺰﻔﺤﻣ
H2SO2، H2،
Ga2O3
ندﺎﻌﻤﻟا ﻪﺒﺷﺔﻠﺻﻮﻤﻟا
ﺔﻄﻘﻧ+ ﺐﺳ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 13
ص
• عاﻮﻧﻷا ﺔﻌﺑرﻷا(4) ﺔﻴﻟﺎﺘﻟا ﻦﻣ ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﺔﻳﺮﺼﺒﻟا:ةﺮﻓﻮﺘﻣ
ﺰﻴﺤﺗ
(ج) تﺎﻴﺋﺎﻨﺜﻟاﺔﻴﺋﻮﻀﻟا
(ب) زﺎﻬﺟ ﻞﺻﻮﻣﻲﺋﻮﺿ
ﺔﻗﺎﻃنﻮﺗﻮﻔﻟا
ص
هﺎﺒﺷأ تﻼﺻﻮﻤﻟاأ
ﺔﻗﺎﻃنﻮﺗﻮﻔﻟا
صن
• مﺪﺨﺘﺴﺗ هﺬﻫ تاﺮﻌﺸﺘﺴﻤﻟا فﺎﺸﺘﻛﻻ ةﺪﺷ.ءاﻮﺿﻷا
هﺎﺒﺷأ تﻼﺻﻮﻤﻟاب
فداﻮﻤﻟا
نداﻮﻤﻟا
ﺲﻜﻌﻳ
يدﺆﻳ
ﺔﻗﺎﻃنﻮﺗﻮﻔﻟا
ﺪﻬﺠﻟاﻰﺑﺮﻬﻜﻟاا
(أ) ﻊﻃﺎﻘﺘﻟاﻲﺋﻮﺿوﺮﻬﻜﻟا
ﺰﻴﺤﺗ
_
هﺎﺒﺷأ تﻼﺻﻮﻤﻟاA ﺮﺜﻛأ ﺔﻴﻓﺎﻔﺷ
ﺔﻗﺎﻄﻟ نﻮﺗﻮﻔﻟا ﻲﻓ ءﻮﻀﻟاﻂﻗﺎﺴﻟا
+
ﺪﻬﺠﻟاﻰﺑﺮﻬﻜﻟاا
تﺎﺴﺠﻣﺔﻳﺮﺼﺑ
ﻊﻃﺎﻘﺗقﺮﻃ
ﺔﻗﺎﻃنﻮﺗﻮﻔﻟا
تﻮﺻ
• ﻞﻤﻌﻳ ﲆﻋ أﺪﺒﻣ ﻞﻳﻮﺤﺗ ﺔﻗﺎﻄﻟا ﻦﻴﺑ تﺎﻧﻮﺗﻮﻔﻟا ﻲﻓ ﺔﻌﺷأ ءﻮﻀﻟا ﻂﻗﺎﺴﻟا تﺎﻧوﺮﺘﻜﻟﻹاو ﻲﻓ داﻮﻣ.رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا
R
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 14
ﺔﻗﺎﻃنﻮﺗﻮﻔﻟا
ﺚﻋﺎﺑ ص_
ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﺔﻳﺮﺼﺒﻟا- ﻊﺑﺎﺗ
يﻮﺘﺤﻳGaAs ﲆﻋ ﻞﻘﻨﺗ نوﺮﺘﻜﻟإ ﲆﻋأ ﻦﻣSi- ﻲﻟﺎﺘﻟﺎﺑو ةءﺎﻔﻛ ﺔﻴﻣﻮﻤﻛ.ﲆﻋأ
ﺚﻋﺎﺑ
ﻢﺘﻳ ماﺪﺨﺘﺳا داﻮﻣ ، ىﺮﺧأ ﻞﺜﻣ مﻮﻴﺜﻴﻠﻟا(Li) مﻮﻳدﻮﺼﻟاو(Na) مﻮﻴﺳﺎﺗﻮﺒﻟاو(K) مﻮﻳﺪﻴﺑوﺮﻟاو(Rb) اﺬﻬﻟ.ضﺮﻐﻟا
ﺪﻌﻳ نﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا(Si) ﺪﻴﺨﻴﻧرزو مﻮﻴﻟﺎﻐﻟا(GaAs) ﻦﻣ داﻮﻣ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا.ﺔﻌﺋﺎﺸﻟا
ةﺪﻋﺎﻗ
ﻊﻣﺎﺟ
ﻊﻣﺎﺟ
ةﺪﻋﺎﻗ
(د) ةﺰﻬﺟأ تارﻮﺘﺳﺰﻧاﺮﺘﻟاﺔﻴﺋﻮﻀﻟا
ص_
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 15
ءﺎﺸﻏ ﻖﻴﻗر ﻦﻣ نﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا ﻦﻋ ﻖﻳﺮﻃ ﺲﻣﻼﺗ ءاﻮﻬﻟا وأ ﻂﻐﺿ.زﺎﻐﻟا
سﺎﻴﻘﻟا
• تﺎﺴﺠﻣ ﻂﻐﻀﻟا ةﺮﻴﻐﺼﻟا ﻞﻤﻌﺗ ﲆﻋ أﺪﺒﻣ ءﺎﻨﺤﻧﻻا ﻲﻜﻴﻧﺎﻜﻴﻤﻟاـﻟ
ةﺪﻋﺎﻗ
تﺎﻘﻴﺒﻄﺗ ﻢﻟﺎﻌﻟا"."ﻲﻘﻴﻘﺤﻟا
ﺪﻴﻗ
ﻒﻳﻮﺠﺗ
• ﺎﻬﻧإ ﻦﻣ ﻦﻴﺑ ةﺰﻬﺟأMEMS ﱃوﻷا ﻲﺘﻟا ﻢﺗ ﺎﻫﺮﻳﻮﻄﺗ ﺎﻬﺟﺎﺘﻧإو ﲆﻋقﻼﻃﻹا
بﺎﺠﺤﻟاﺰﺟﺎﺤﻟا
ﻂﻐﻀﻟا ﻲﻓ تﺎﺌﻴﺒﻟا وأ ﺔﻤﻈﻧﻷا ، ﺔﻴﺳﺪﻨﻬﻟا ﻞﺜﻣ ﻂﻐﺿ لﻮﺧد ةرﺎﻴﺴﻟا ﱃإ.كﺮﺤﻤﻟا
ﻒﻳﻮﺠﺗ
تﻮﻤﻳ نﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا
ﻊﻣ
• تﺎﺴﺠﻣ ﻂﻐﻀﻟا ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا مﺪﺨﺘﺴﺗ ﺔﺒﻗاﺮﻤﻟ سﺎﻴﻗو تازﺎﻐﻟاﺔﻘﻴﻗﺪﻟا
(ب) ﺐﻧﺎﺠﻟا ﻲﻣﺎﻣﻷاطﻮﻐﻀﻣ
(أ) ﺐﻧﺎﺠﻟا ﻲﻔﻠﺨﻟاطﻮﻐﻀﻣ
ﻞﺧﺪﻣﻞﺋاﻮﺴﻟا
ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳاﻂﻐﻀﻟا
سﺎﻴﻘﻟا
ﻞﺧﺪﻣﻞﺋاﻮﺴﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 16
3
ص
-
3
ص
• هﺬﻫ تﺎﻣوﺎﻘﻤﻟا ﺔﻴﻃﺎﻐﻀﻧﻻا ةﺮﻴﻐﺼﻟا ﺔﻋﻮﻨﺼﻣ ﻦﻣ نﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا .رﺪﺨﻤﻟا
ﻢﻬﻧإ نﻮﻠﻤﻌﻳ ﲆﻋ أﺪﺒﻣ ﻪﺑﺎﺸﻣ ـﻟ ﺲﻴﻳﺎﻘﻣ" دﺎﻬﺟإ "ﻖﺋﺎﻗﺮﻟا مﺎﺠﺣﺄﺑ ﺮﻐﺻأ
ﺮﻴﺜﻜﺑ ، (ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻤﻟﺎﺑ) ﻦﻜﻟ ﻢﻬﻳﺪﻟ ﺔﻴﺳﺎﺴﺣ ﺔﻗدو ﲆﻋأ.ﺮﻴﺜﻜﺑ
(+ R3 (ﺔﺴﻤﺧ
ب
ﺪﻴﻴﻘﺗ
فﻼﻏ
R4
+
-
ﻂﺑﺮﻳ
+RR
= R3 R1 ، ﺔﻣوﺎﻘﻣ ﺔﺠﺗﺎﻧ ﻦﻋ طﻮﻐﻀﻟا ﺔﻴﻟﻮﻄﻟاﺔﻴﺿﺮﻌﻟاو
4
جﺎﺟزﺲﻛﺮﻴﺑ
ﻮﻓﻦﻴﻓ
R2
ﻢﻠﻴﻓﻲﻧﺪﻌﻣ
مﻼﻫنﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا
• تﻻﻼﺴﻟا ﺔﺒﺣﺎﺼﻤﻟا هﻮﺸﺘﻟ بﺎﺠﺤﻟا ﺰﺟﺎﺤﻟاﻲﻫ
ﺮﻤﻣـﻟ
ﺔﻄﺳاو
ةدﺎﺳوﺔﻴﻧﺪﻌﻣ
Vo
بﺎﺠﺤﻟاﺰﺟﺎﺤﻟا
ةﺪﻋﺎﻗ وأنﺪﻌﻣ
أ
نﺪﻌﻣ
= R4 R3، R2، R1، تﺎﻣوﺎﻘﻣﻂﻐﻀﻟا
ﺔﻘﺒﻃﺔﻟزﺎﻋ
(+ R1 (ﺔﺴﻤﺧ
تﻮﻣ
سأر
+RR
1
ﻦﻴﻓ
ve)(-R2
ﺮﺴﺟ نﻮﺘﺴﺘﻳو ﻞﻘﻨﻟتارﺎﺷﻹا
R3
ve)(-R4
1
2
R1
تاﺪﻨﺴﻟاﺔﻴﻜﻠﺴﻟا
تﺎﺴﺠﻣ ﻂﻐﻀﻟا- ﻊﺑﺎﺗ
ﻂﺑر
= R4 R2 ، تﺎﻣوﺎﻘﻣﺔﻴﻌﺟﺮﻣ
=
طﻮﻐﻀﻣ
ةدﺎﺳوﺔﻴﻧﺪﻌﻣ
تﺎﻣوﺎﻘﻣﺰﻳروﺰﻴﺑ
نﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا
سﺎﻘﺗ ﺔﻄﺳاﻮﺑ تﺎﻣوﺎﻘﻣ" "ﻂﻐﺿ ةﺮﻴﻐﺻ ﺔﻋﻮﺿﻮﻣ ﻲﻓ ﻊﻗاﻮﻣ" "ﺔﻴﺠﻴﺗاﺮﺘﺳإ ﲆﻋ بﺎﺠﺤﻟا.ﺰﺟﺎﺤﻟا
ﺮﻈﻨﻣ يﻮﻠﻋ تﻮﻤﻟنﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 17
أ
ﺐﻄﻗﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻛ
= εr ﺔﻴﺣﺎﻤﺴﻟا ﺔﻴﺒﺴﻨﻟا1.0 = ﻊﻣ ءاﻮﻬﻟا= εo ﺔﻴﺣﺎﻤﺴﻟا ﻲﻓ غاﺮﻔﻟا
= A m pF / 8.85 = ﺔﻘﻄﻨﻣ ﻞﺧاﺪﺘﻟا= D ةﻮﺠﻔﻟا ﻦﻴﺑ بﺎﻄﻗأﺔﺣﻮﻠﻟا
ةﺪﻋﺎﻗ
عﺎﻌﺷ :زاﺰﺘﻫﻻا ﺔﻗﺎﻗر)Si ﻦﻣ عﻮﻨﻟاn ،
ضﺮﻋ40 ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ× لﻮﻃ600
ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ6 × (ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ
ﻒﻳﻮﺠﺗ
ﻦﻋ ﻖﻳﺮﻃ زاﺰﺘﻫﻻا ﻦﻴﻨﻄﻟا ﺔﻗﺪﻟ)(ﲆﻋأ
ﻂﺳو طﻮﻐﻀﻣ ﺪﻴﻘﻣةﺪﻋﺎﻗ
ءﺎﻄﻏنﻮﻜﻴﻠﻴﺳ
د
ﺮﺸﺘﻨﻣ ﺐﻄﻗ ﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻛ
ﻦﻣ عﻮﻨﻟاP.
بﺎﺠﺤﻟا ﺰﺟﺎﺤﻟا ﻦﻣ نﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا1200 ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ ﻊﺑﺮﻣ
100 × ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ
تﻮﻤﻳنﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا
ﻲﻧﺪﻌﻣ
تﻮﻤﻳ نﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا(400 (ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ
• ﺮﻓﻮﺘﺗ قﺮﻃ ىﺮﺧأ ﻞﻳﻮﺤﺘﻟ هﻮﺸﺗ بﺎﺠﺤﻟا ﺰﺟﺎﺤﻟا ﱃإ تارﺎﺷإ جﺮﺧ ، ﺔﻴﻧوﺮﺘﻜﻟإ ﲆﻋ ﻞﻴﺒﺳ، لﺎﺜﻤﻟا
εε = C
سﺎﻴﻘﻟا
جﺮﺧ :ةرﺎﺷﻹا تاﺮﻴﻐﺗ ﺔﻌﺴﻟا تﺎﻘﻴﺒﻄﺘﻟ) تﺎﺟرد ةراﺮﺤﻟا(ﺔﻌﻔﺗﺮﻤﻟا
ﺲﻣﺎﺨﻟا
لﺎﻳرﻲﻧﺎﻤﻋ
ﻞﺧﺪﻣﻞﺋاﻮﺴﻟا
جﺮﺧ :ةرﺎﺷﻹا لﻮﺤﺗ تاددﺮﺗ ﻦﻴﻧﺮﻟا ﻦﻋ ﻖﻳﺮﻃ
ﺮﻴﻴﻐﺗ طﻮﻐﻀﻟا ﻲﻓ ﺐﻄﻘﻟا ﻲﻠﻔﺴﻟا ﺔﺣﻮﻠﻟ ﻦﻋ
ﻖﻳﺮﻃ ﻞﻴﻤﺤﺗ ﻂﻐﻀﻟاﻖﺒﻄﻤﻟا
ﻲﻧﺪﻌﻣ
ﺪﻴﻗ
تﺎﺴﺠﻣ ﻂﻐﻀﻟا- ﻊﺑﺎﺗ
ﺐﻄﻗﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻛ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 18
0
(
/ لﺎﺧدإ جاﺮﺧإ ﺮﻴﻏ ﻲﻄﺧ ﻊﻣ تاﺮﻌﺸﺘﺴﻣ ﻂﻐﺿ ﺔﺣﻮﻟ ماﺪﺨﺘﺳﺎﺑ بﺎﻄﻗأﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻛ
4
0.5
ﺲﻣﺎﺨﻟا
ﻒﺜﻜﻣ
ﺮﻴﻐﺘﻣ
0
1.5 2.5
22 +
12
Vo
ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﻲﺘﻟا مﺪﺨﺘﺴﺗ تﺎﻣوﺎﻘﻣ :ﻂﻐﻀﻟا• ةﺮﻴﻐﺻ ﻢﺠﺤﻟا• ﺔﻗﻼﻋ / لﺎﺧدﻹا جاﺮﺧﻹا ﺔﻴﻄﺨﻟا• ﺔﺳﺎﺴﺣ ﺔﺟرﺪﻟ
ةراﺮﺤﻟا
( ﻦﻴﻓ
8
ج 6
ج
ﺮﺴﺟ ةﺮﺋاﺪﻟا ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا ﻞﻳﻮﺤﺘﻟ تاﺮﻴﻴﻐﺗ ﺔﻌﺴﻟا ﱃإ جﺮﺧ:ﺪﻬﺠﻟا
ا
2
1
ج
، ةﻮﺠﻓﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ
2
ج
14
نﺎﻋﻮﻧ نﺎﻌﺋﺎﺷ ﻦﻣ تﺎﺴﺠﻣ ﻂﻐﻀﻟاﺮﻴﻐﺼﻟا
ﺔﺨﺴﻧ
10
ﻦﻴﻓ
ةﺰﻬﺟأ رﺎﻌﺸﺘﺳﻻا ﻲﺘﻟا مﺪﺨﺘﺴﺗ :تﺎﻌﺴﻟا• ﻞﻴﻤﺗ ﱃإ نأ نﻮﻜﺗ ﺔﻤﺨﺿ ﻢﺠﺤﻟا• ﺔﺒﺳﺎﻨﻣ ﻖﻴﺒﻄﺘﻟ تﺎﺟرد ةراﺮﺤﻟا ﺔﻌﻔﺗﺮﻤﻟا•
تﺎﻗﻼﻋ / لﺎﺧدإ جاﺮﺧإ• Nolinear ﺔﻔﻠﻜﺗﻞﻗأ
=
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 19
تﺎﺴﺠﻣ ﻂﻐﻀﻟا- ﻊﺑﺎﺗ
• ﻞﻛﺎﺸﻤﻟا ﺔﻴﺴﻴﺋﺮﻟا ﻲﻓ تﺎﺴﺠﻣ ﻂﻐﻀﻟا ﻦﻤﻜﺗ ﻲﻓ ﻒﻴﻠﻐﺗ مﺎﻈﻨﻟا ﺔﻳﺎﻤﺣو بﺎﺠﺤﻟا ﺰﺟﺎﺤﻟا ﻦﻣ ﻂﺋﺎﺳﻮﻟا ﺔﻃﻮﻐﻀﻤﻟا
، ﺔﺴﻣﻼﻤﻟا ﻲﺘﻟاو ﺎًﺒﻟﺎﻏ ﺎﻣ نﻮﻜﺗ ﺔﺒﺒﺴﻣ ﻞﻛﺂﺘﻠﻟ ﻞﻛﺂﺘﻟاو ﻲﻓو تﺎﺟرد ةراﺮﺣ.ﺔﻴﻟﺎﻋ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 20
ﺎﻧأ
ةراﺮﺣ
ﺲﻣﺎﺨﻟا
ﺲﻣﺎﺨﻟا
(ب) جودﺰﻣ يراﺮﺣﻊﻃﺎﻘﺗ
جﺮﺧﺪﻬﺠﻟا
ﺪﻬﺠﻟا ﺪﻟﻮﺘﻤﻟا(V) ﻦﻋ ﻖﻳﺮﻃ عﺎﻔﺗرا ﺔﺟرد ةراﺮﺤﻟا ﺪﻨﻋ ﺔﺒﺤﻟا( T) :ﻮﻫ
ﺚﻴﺣ= β ﻞﻣﺎﻌﻣﻚﻴﺒﻴﺳ
ﻚﻠﺳ ﻲﻧﺪﻌﻣأ
• ﻞﻤﻌﺗ تاﺮﻌﺸﺘﺴﻤﻟا ﺔﻳراﺮﺤﻟا ﲆﻋ أﺪﺒﻣ ىﻮﻘﻟا ﺔﻌﻓاﺪﻟا ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا(emf) ﺔﺠﺗﺎﻨﻟا ﻦﻋ ﻦﻴﺨﺴﺗ ﺔﻠﺻﻮﻟا ﺔﻋﻮﻨﺼﻤﻟا ﻦﻣ داﻮﻣ ﺮﻴﻏ ﺔﻬﺑﺎﺸﺘﻣ:(تازﺮﺧ)
رﺎﺣ
ﻚﻠﺳ ﻲﻧﺪﻌﻣب
جﺮﺧﺪﻬﺠﻟا
ﻚﻠﺳ ﻲﻧﺪﻌﻣأ
ﻊﻃﺎﻘﺗقﺮﻃ
(أ) جودﺰﻣيراﺮﺣ
• مﺪﺨﺘﺴُﺗ تاﺮﻌﺸﺘﺴﻤﻟا ﺔﻳراﺮﺤﻟا ﺔﺒﻗاﺮﻤﻟ وأ سﺎﻴﻗ ﺔﺟرد ةراﺮﺤﻟا ﻲﻓ ﺔﺌﻴﺑ وأ ﺔﻤﻈﻧأ.ﺔﻴﺳﺪﻨﻫ
ﻊﻃﺎﻘﺗقﺮﻃ
ﺔﺒﺣ
• تاﺮﻌﺸﺘﺴﻤﻟا ﺔﻳراﺮﺤﻟا ﺔﻌﺋﺎﺸﻟا ﻞﻤﺸﺗ تﺎﺟودﺰﻤﻟا ﺔﻳراﺮﺤﻟا ﺐﻟاﻮﻘﻟاو.ﺔﻳراﺮﺤﻟا
ﺎﻧأ
ﺎﻴﻧﺎﺛ
ﻚﻠﺳ ﻲﻧﺪﻌﻣب
Tβ = V
ةراﺮﺣ
تﺎﺴﺠﻣﺔﻳراﺮﺣ
درﺎﺑ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 21
ﻞﻣﺎﻌﻣ ﻚﻴﺒﻴﺳ(µV / ﺔﺟرد
(ﺔﻳﻮﺌﻣ
/ ﺪﻳﺪﺣﺔﻨﻴﻄﻨﺴﻗ
10.19 ﺪﻨﻋ600 ﺔﺟردﺔﻳﻮﺌﻣ
11.35 ﺪﻨﻋ600 ﺔﺟردﺔﻳﻮﺌﻣ
ىﺪﻤﻟا(تارﺎﻴﺴﻟﺎﺑ)
-210 ﱃإ1200
-0.24 ﱃإ18.70
-0.23 ﱃإ21.11
58.70 ﺪﻨﻋ0 ﺔﺟردﺔﻳﻮﺌﻣ
39.48 ﺪﻨﻋ0 ﺔﺟردﺔﻳﻮﺌﻣ
38.74 ﺪﻨﻋ0 ﺔﺟردﺔﻳﻮﺌﻣ
تﻼﻣﺎﻌﻣ ﻚﻴﺒﻴﺳ ﻒﻠﺘﺨﻤﻟ تﺎﺟودﺰﻤﻟا ﺔﻳراﺮﺤﻟا:ﻲﻫ
-9.84 ﱃإ76.36
-6.55 ﱃإ54.87
-6.26 ﱃإ20.87
R مﻮﻴﻨﻴﺗﻼﺑPtRh / - (10٪)
س
قﺎﻄﻨﻟا ﺔﺟرد)(ﺔﻳﻮﺌﻣ
50.37 ﺪﻨﻋ0 ﺔﺟردﺔﻳﻮﺌﻣ
-50 ﱃإ1768
-50 ﱃإ1768
-8.10 ﱃإ69.54
ﻲﺗ / سﺎﺤﻨﻟاﺔﻨﻴﻄﻨﺴﻗ
تﺎﺟودﺰﻤﻟا ﺔﻳراﺮﺤﻟا ﺔﻌﺋﺎﺸﻟا ﻲﻫ ﻦﻣ ﻦﻴﻋﻮﻨﻟاK وT.
ﺐﺘﻜﻳ
ﺔﻄﻘﻧPtRh / - (13٪)
E / ﻞﻴﻣوﺮﻛﻦﻴﻄﻨﻄﺴﻗ
ك / ﻞﻴﻣوﺮﻛﻞﻴﻣﻮﻟأ
تﺎﺴﺠﻣ ﺔﻳراﺮﺣ- ﻊﺑﺎﺗ
-270 ﱃإ1000
ﻦﻣ-270 ﱃإ1372
ﻦﻣ-270 ﱃإ400
داﻮﻣكﻼﺳﻷا
ي
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 22
ح
تﻮﻫ
، ﺔﻘﻄﻨﻤﻟا ﻲﺗ
Tβ N = V
ﺪﻟﻮﻛﻦﺸﻜﻧﺎﺟ
تﺎﺟودﺰﻤﻟاﺔﻳراﺮﺤﻟا
ﺪﻬﺠﻟا ﺚﺤﺘﺴﻤﻟا( V) ﻦﻋ ﻖﻳﺮﻃ ﺮﻴﻐﺗ ﺔﺟرد ةراﺮﺤﻟا ﺪﻨﻋ ﺔﻠﺻﻮﻟا ﺔﻨﺧﺎﺴﻟا( T) :ﻮﻫ
ﻊﻣ= N دﺪﻋ جاوزأ ﺔﺟودﺰﻤﻟا ﺔﻳراﺮﺤﻟا ﻲﻓ.ﺔﻳراﺮﺤﻟا
ﻊﻨﺼﺗ ﺐﻟاﻮﻘﻟا ﺔﻳراﺮﺤﻟا ﻦﻣ ﻞﻴﺻﻮﺗ ﺔﻠﺴﻠﺳ ﻦﻣ تﺎﺟودﺰﻤﻟا ﺔﻳراﺮﺤﻟا:يزاﻮﺘﻟﺎﺑ
V
تﺎﺴﺠﻣ ﺔﻳراﺮﺣ- ﻊﺑﺎﺗ
، ﺔﻘﻄﻨﻤﻟاح
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 23
6 3. ﻢﻠﻣ
µ 0 2
3.6 ﻢﻣ3.6 × ﻢﻣ20 × نوﺮﻜﻴﻣ
ﺔﻘﻄﻨﻣ
تﻮﻫﻦﺸﻜﻧﺎﺟ
عﺎﻔﺗرا
• جاﺮﺧﻹا ﻲﺟذﻮﻤﻨﻟا100 ﻲﻠﻠﻣﺖﻟﻮﻓ
32 • تﺎﺟودﺰﻣ ﺔﻳراﺮﺣ ﻦﻣ ﻲﻟﻮﺒﻟا نﻮﻜﻴﻠﻴﺳﺐﻫﺬﻟاو
رﺎﺣ
ﻢﻋﺪﻳ
تﺎﺟودﺰﻤﻟاﺔﻳراﺮﺤﻟا
• ﺪﻌﺒﻟا يراﺮﺤﻟا:ﻮﻫ
ﻊﻃﺎﻘﺗقﺮﻃ
بﺎﺠﺤﻟاﺰﺟﺎﺤﻟا
ﺮﻌﺸﺘﺴﻣ يراﺮﺣ:ﻖﻴﻗد
32 تﺎﺟودﺰﻣ ﺔﻳراﺮﺣ
ضﺮﻌﺑ16 ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ
ﺔﻘﻄﻨﻣ
3.6 ﻢﻠﻣ
ﺪﻟﻮﻛﻦﺸﻜﻧﺎﺟ
ﺔﻘﻄﻨﻣ
ﺔﻓﺎﺣنﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا
بﺎﺠﺤﻟا :ﺰﺟﺎﺤﻟا1.6 ﻢﻣ ءﺎﻴﺿ1.3 × ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ
ﺮﻈﻨﻣيﻮﻠﻋ
تﺎﺴﺠﻣ ﺔﻳراﺮﺣ- ﻊﺑﺎﺗ
• ﻦﻣز ﺔﺑﺎﺠﺘﺳﻻا50 ﻲﻠﻠﻣﺔﻴﻧﺎﺛ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 24
يﺮﻬﺠﻣ
ءاﺮﺟإ :جاﺮﺧﻹا ةدﺎﻋ ﻲﻓ ﺔﻛﺮﺣةدﺪﺤﻣ
ﻞﻴﻐﺸﺘﻟا
ﺢﻴﺿﻮﺘﻟا
ﺮﺼﻨﻋ :ﻞﻴﻐﺸﺘﻟا ةدﺎﻣ وأ نﻮﻜﻣ كﺮﺤﺘﻳةﻮﻘﺑ
داﺪﻣإ
ةﺪﺣو
ةﻮﻗ
ﻞﻌﻓ
داﺪﻣإ
دوﺰﻣ :ﺔﻗﺎﻄﻟا رﺎﻴﺘﻟا ﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا وأﺪﻬﺠﻟا
ةﺪﺣو :ﻞﻳﻮﺤﺘﻟا ءﺎﻔﺧﻹ ﻞﻜﺸﻟا ﺐﺳﺎﻨﻤﻟا تاداﺪﻣﻹ ﺔﻗﺎﻄﻟا ﱃإ ﻞﻜﺸﻟا بﻮﻠﻄﻤﻟا ﻦﻣ تاءاﺮﺟﻹا ﺮﺼﻨﻌﻟﻞﻴﻐﺸﺘﻟا
ﺮﺼﻨﻋ
ئدﺎﺒﻣ ﻞﻤﻌﻟا لMicroactuators
جﺎﺘﻧا|
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 25
• ﺐﻴﻀﻗ ﺐﻠﺻ لﻮﻄﺑL فﻮﺳ ﺪﺘﻤﻳ ﻪﻟﻮﻃ راﺪﻘﻤﺑT ، α = L ﺚﻴﺣ= α ﻞﻣﺎﻌﻣ دﺪﻤﺘﻟا يراﺮﺤﻟا- (CTE) ﺔﻴﺻﺎﺧ.ﺔﻳدﺎﻣ
α1
• ﺎﻣﺪﻨﻋ نﻮﻜﺗ كﺎﻨﻫ نﺎﺗدﺎﻣ نﺎﺘﻠﺼﺘﻣ ﺔﻄﺑاﺮﺑCTE ةﺰﻴﻤﻣ ﺎًﻌﻣ نﺎﺿﺮﻌﺘﺗو ﺮﻴﻐﺘﻟ ﻲﻓ ﺔﺟرد ، ةراﺮﺤﻟا نﺈﻓ ةدﺎﻤﻟا ﺔﺒﻛﺮﻤﻟا ﺮﻴﻐﺘﺳ
ﺎﻬﺘﺳﺪﻨﻫ ﺎﻤﻛ ﻮﻫ ﺢﺿﻮﻣ هﺎﻧدأ ماﺪﺨﺘﺳﺎﺑ ﺔﻣﺰﺤﻟا:ﺔﺒﻛﺮﻤﻟا
2α
ةراﺮﺣ
ﻞﻐﺘﺸﻳ ماﺪﺨﺘﺳﺎﺑ ىﻮﻘﻟاﺔﻳراﺮﺤﻟا
• مﺪﺨﺘﺴُﺗ هﺬﻫ مﺰﺤﻟا ﺔﺒﻛﺮﻤﻟا ﻞﻜﺸﺑ ﻊﺋﺎﺷ ﺢﻴﺗﺎﻔﻤﻛ ﺔﻘﻴﻗد تﻼﺣﺮﻣو ﻲﻓ تﺎﺠﺘﻨﻣ ﻢﻈﻨﻟا ﺔﻴﻜﻴﻧﺎﻜﻴﻣوﺮﻬﻜﻟا.ىﺮﻐﺼﻟا
αα1>
• داﻮﻤﻟا ﺔﺒﻠﺼﻟا هﻮﺸﺘﺗ ﺎﻣﺪﻨﻋ ضﺮﻌﺘﺗ ﺮﻴﻐﺘﻟ ﻲﻓ ﺔﺟرد ةراﺮﺤﻟاT)(
2
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 26
ﺪﻨﻋ ﺔﺟرد ةراﺮﺣ ﺔﻌﻔﺗﺮﻣ.جﺎﺘﻧﻺﻟ
microswitch • ﻢﺘﻳ ﻪﻠﻴﻐﺸﺗ ماﺪﺨﺘﺳﺎﺑSMA:
• ﻢﺘﻳ ﻪﻳﻮﺸﺗ هﺬﻫ ﻚﺋﺎﺒﺴﻟا ﱃإ لﺎﻜﺷأ ﺔﻴﺳﺪﻨﻫ ﺔﻔﻠﺘﺨﻣ ﻲﻓ ﺔﺟرد ةراﺮﺣ ﺔﻓﺮﻐﻟا.ةدﺎﻋ
ةﺪﻋﺎﻗﺪﻴﻘﻟا
ﻞﻜﺷ عﺎﻄﻗ ﻚﺋﺎﺒﺳ ةﺮﻛاﺬﻟا ﲆﻋ ﻞﻴﺒﺳ
لﺎﺜﻤﻟاTiNi وأNitinolor
• دﻮﻌﺘﺳ ﻞﻛﺎﻴﻫSMA ﺔﻫﻮﺸﻤﻟا ﱃإ ﺎﻬﻟﺎﻜﺷأ ﺔﻴﻠﺻﻷا ﺎﻣﺪﻨﻋ نﻮﻜﺗﻚﻟﺬﻛ
ﻞﻴﻐﺸﺘﻟا ماﺪﺨﺘﺳﺎﺑ ﻚﺋﺎﺒﺳ ةﺮﻛاذ ﻞﻜﺸﻟا(SMA)
ﻂﻳﺮﺷ ﻦﻴﺨﺴﺗﺔﻣوﺎﻘﻤﻟا
ﺎﻬﻨﻴﺨﺴﺗ ﱃإ ﺔﺟرد ةراﺮﺣ ﺔﻌﻔﺗﺮﻣ ﺪﻨﻋ.ﺎﻬﺟﺎﺘﻧإ
SMA • ﻲﻫ داﻮﻤﻟا ﻲﺘﻟا يﻮﺘﺤﺗ ﲆﻋ "ةﺮﻛاذ" ﺎﻬﻠﻜﺸﻟ ﻲﺳﺪﻨﻬﻟا ﻲﻠﺻﻷا(ﻞﻜﺸﻟا)
عﺎﻌﺷ ﺊﺗﺎﻧ ﻦﻣنﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا
Ni Ti-• ﻮﻫSMA .ﻊﺋﺎﺷ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 27
ﺪﻬﺠﻟا ، ﻲﻘﻴﺒﻄﺘﻟا V
• ﻦﻜﻤﻳ ﺢﻴﺿﻮﺗ اﺬﻫ كﻮﻠﺴﻟا ﲆﻋ ﻮﺤﻨﻟا:ﻲﻟﺎﺘﻟا
ﺲﻣﺎﺨﻟا
ﺔﺜﺤﺘﺴﻤﻟاﺔﻴﻜﻴﻧﺎﻜﻴﻤﻟا
• اﺬﻫ كﻮﻠﺴﻟا ﺐﻳﺮﻐﻟا ﻞﻌﺠﻳ تارﻮﻠﺒﻟا ﺔﻴﻄﻐﺿﺮﻬﻜﻟا ﺎًﺤﺷﺮﻣ ﺎًﻴﻟﺎﺜﻣ ﻞﻋﺎﻔﺘﻠﻟ ﻖﻴﻗﺪﻟا ﺎﻤﻛ ﻮﻫ ﺢﺿﻮﻣ ﻲﻓ ﺔﻟﺎﺤﻟا:ﺔﻴﻟﺎﺘﻟا
هﻮﺸﺗ
ﻞﻐﺘﺸﻳ ماﺪﺨﺘﺳﺎﺑ تارﻮﻠﺑﺔﻴﻄﻐﺿﺮﻬﻛ
ﺪﻬﺠﻟا ﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا ﺚﺤﺘﺴﻤﻟا ةﻮﻘﻟﺎﺑﺔﻴﻜﻴﻧﺎﻜﻴﻤﻟا
ﻲﻜﻴﻧﺎﻜﻴﻣ
• ﺮﻬﻈﺗ تارﻮﻠﺑ ، ﺔﻨﻴﻌﻣ ﻞﺜﻣ ، ﺰﺗراﻮﻜﻟا ﺎًﻛﻮﻠﺳ اًﺮﻴﺜﻣ مﺎﻤﺘﻫﻼﻟ ﺪﻨﻋ ﺎﻬﺿﺮﻌﺗ هﻮﺸﺘﻟ ﻲﻜﻴﻧﺎﻜﻴﻣ وأ ﺪﻬﺟ.ﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻛ
هﻮﺸﺘﻟا ﻲﻜﻴﻧﺎﻜﻴﻤﻟا ﻢﺟﺎﻨﻟا ﻦﻋ ﺪﻬﺠﻟاﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا
تاﻮﻘﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 28
ﺲﻣﺎﺨﻟا
عﺎﻌﺷ ﺊﺗﺎﻧ ﻦﻣنﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا
بﺎﻄﻗأﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻛ
ﻞﻐﺘﺸﻳ ماﺪﺨﺘﺳﺎﺑ تارﻮﻠﺑ ﺔﻴﻄﻐﺿﺮﻬﻛ- ﻊﺑﺎﺗ
ﺔﻴﻄﻐﺿﺮﻬﻛ
ةﺪﻋﺎﻗﺪﻴﻘﻟا
ﻞﺣﺮﻣ ﺮﻴﻐﺻ وأ حﺎﺘﻔﻣ ﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻛﻖﻴﻗد
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 29
ﺔﻴﺑذﺎﺟF
أ ﻊﻣ) ﺔﻤﻬﺗq)
ةﻮﻗ بﺬﺠﻟا وأ :ﺮﻓﺎﻨﺘﻟاπε4 =
2
ص
F
1
ﺚﻴﺣ= ε ﺔﻴﺣﺎﻤﺳ ﻂﺳﻮﻟا ﻦﻴﺑ ﻦﻴﻤﻴﺴﺠﻟا2 Nm 2 / C 10-12 x 8.85 = وأm pF / 8.85 ﻲﻓ
غاﺮﻔﻟا= r o) ε (= ﺔﻓﺎﺴﻤﻟا ﻦﻴﺑ تﺎﻤﻴﺴﺠﻟا(م)
ﻞﻐﺘﺸﻳ ماﺪﺨﺘﺳﺎﺑ ىﻮﻘﻟاﺔﻴﻜﻴﺗﺎﺘﺳوﺮﻬﻜﻟا
"
• ةﻮﻘﻟا ﺔﻴﻜﻴﺗﺎﺘﺳوﺮﻬﻜﻟا ﻦﻴﺑ ﻦﻴﻤﻴﺴﺟ- نﻮﻧﺎﻗ:مﻮﻟﻮﻛ
فف
ب ﻊﻣ) ﺔﻤﻬﺗ')q
رﻮﻔﻨﻟاو
، ﺔﻓﺎﺴﻤﻟاص
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 30
ﺲﻣﺎﺨﻟا
أε ε = ε ε =
د
2
ﺚﻴﺣ= εr ﺔﻴﺣﺎﻤﺴﻟا ﺔﻴﺒﺴﻨﻟا ةدﺎﻤﻠﻟ ﺔﻟزﺎﻌﻟا ﻦﻴﺑ ﻦﻴﺘﺤﻴﻔﺼﻟا ﺮﻈﻧا) لوﺪﺠﻟا2.2 ﻢﻴﻘﻟεr داﻮﻤﻠﻟ ﺔﻟزﺎﻌﻟا.(ﺔﻌﺋﺎﺸﻟا
2
، بﺎﺟد
ﺲﻣﺎﺨﻟا
لﺎﻳرﻲﻧﺎﻤﻋ
صس
-=
صس
• ةﻮﻘﻟا ﺔﻴﻜﻴﺗﺎﺘﺳوﺮﻬﻜﻟا ﺔﻳدﺎﻌﻟا ﱃإ ﻦﻴﺣﻮﻟ ﻦﻴﻟﻮﺤﺸﻣ:
ً
ﺎﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻛ
2
، لﻮﻄﻟاL.
• ةﻮﻘﻟا ﺔﻴﻌﻴﺒﻄﻟا ، ﺔﺜﺤﺘﺴﻤﻟاFd :ﻲﻫ
• ﺔﻌﺴﻟا ﺔﺜﺤﺘﺴﻤﻟاC :ﻲﻫ
F
د
WL
WL
ﻞﻐﺘﺸﻳ ماﺪﺨﺘﺳﺎﺑ ىﻮﻘﻟا ﺔﻴﻜﻴﺗﺎﺘﺳوﺮﻬﻜﻟا- ﻊﺑﺎﺗ
د
ج
د
1εε
ضﺮﻌﻟاW
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 31
εε
εε
F
لإ
2
-=
F
1
د
ﺲﻣﺎﺨﻟا
لﺎﻳرﻲﻧﺎﻤﻋ
ﺲﻣﺎﺨﻟا
• ةﻮﻘﻟا ﺔﻴﻜﻴﺗﺎﺘﺳوﺮﻬﻜﻟا ﺔﻳزاﻮﻤﻟا ﻲﺣﻮﻟ ﺔﻧﻮﺤﺸﻣ
ً
ﺎﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻛ ﺮﻴﻏ: ﻦﻴﺘﻳذﺎﺤﻣ
ﻮﻴﻠﺑد
ث
F
د
لﺎﻳرﻲﻧﺎﻤﻋ
ث
ﺲﻣﺎﺨﻟا
• ةﻮﻘﻟا ﻲﻓ هﺎﺠﺗا: "لﻮﻄﻟا"
لإ
2
2
لإ
ﻮﻴﻠﺑد
لإ
F
ﻞﻐﺘﺸﻳ ماﺪﺨﺘﺳﺎﺑ ىﻮﻘﻟا ﺔﻴﻜﻴﺗﺎﺘﺳوﺮﻬﻜﻟا- ﻊﺑﺎﺗ
د
-=
2
ود
• ةﻮﻘﻟا ﻲﻓ هﺎﺠﺗا : "ضﺮﻌﻟا"1
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 32
كﺎﺴﻣإعرذﻷا
تﺎﻘﻴﺒﻄﺗMicroactuations
بﺎﻄﻗأﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻛ
ﺲﻣﺎﺨﻟا
نﺎﺘﻘﻳﺮﻃ:كﺎﺴﻣﻺﻟ
ﺲﻣﺎﺨﻟا
ةاذﺎﺤﻣ بﺎﻄﻗﻷا
، ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا L
ﺪﺳ
، ةﻮﺠﻔﻟاد
ﺾﺑﺎﻘﻣﺔﻘﻴﻗد
ﺲﻣﺎﺨﻟا
بﺎﻄﻗأ ﺔﺣﻮﻟ ﺔﻴﻗﻻﺰﻧا- ﺔﻘﻳﺮﻃ .ﺔﻌﺋﺎﺷ ﻦﻜﻤﻳ نأ يﻮﺘﺤﺗ
ﲆﻋ ﺪﻳﺪﻌﻟا ﻦﻣ تﺎﻋﻮﻤﺠﻤﻟا ﻞﻤﻌﻟ تﻼﻐﺸﻣdrive"
"Comb
بﺎﻄﻗأ ﺔﺣﻮﻠﻟا ﺔﻳدﺎﻌﻟا- / ب ج ﺮﻴﻏ ﻲﻠﻤﻋ ﺐﻠﻄﺘﻳ ﺔﺣﺎﺴﻣ
.ﺮﺒﻛأ
ﺮﺼﻨﻋ ﻲﺳﺎﺳأ ﻲﻓ تﺎﺗﻮﺑوﺮﻟا ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا ﻲﻓ تﺎﻌﻴﻤﺠﺘﻟا ﺔﻘﻴﻗﺪﻟاﺔﺣاﺮﺠﻟاو
ﺲﻣﺎﺨﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 33
عارذﺪﻳﺪﻤﺘﻟا
60
10 ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ
60100
40
80
ﺲﻣﺎﺨﻟا
كﺮﺤﻣعارﺬﻟا
100
ضﺎﻔﺨﻧا دﺎﺣ ﻲﻓ ﺪﻬﺟ ﻞﻴﻐﺸﺘﻟا بﻮﻠﻄﻤﻟا ﻊﻣ ةدﺎﻳز دﺪﻋ
جاوزأ بﺎﻄﻗﻷا:ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا
20
ﺐﻴﺗﺮﺗ بﺎﻄﻗﻷا:ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا
80
40
400 ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ
160
0
120
120
100 ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ
140
0
دﺪﻋ جاوزأﺐﻄﻘﻟا
20
ﻊﻃﺎﻗ ﻖﻴﻗد ﻲﺟذﻮﻤﻧ دوﺰﻣ تﻼﻐﺸﻤﺑ كﺮﺤﻣ":"ﻂﺸﻣ
عارذقﻼﻏﻹا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 34
تﺎﻧﻮﻓوﺮﻜﻴﻣةﺮﻐﺼﻣ
10
ج
ﻞﺜﻤﺘﻳ يﺪﺤﺘﻟا ﻲﺴﻴﺋﺮﻟا ﻲﻓ ﻢﻴﻤﺼﺗ ﻊﻴﻨﺼﺗو نﻮﻓوﺮﻜﻴﻣMEMS ﻲﻓ ﻒﻴﻠﻐﺗ ﻞﻣﺎﻜﺗو ﺮﺋاوﺪﻟا ﺔﻠﻣﺎﻜﺘﻤﻟاMEMS وCMOS ﻒﻴﻴﻜﺘﻟ
ةرﺎﺷﻹاﺎﻬﺘﺠﻟﺎﻌﻣو
حﻮﻟ ﻲﻔﻠﺧ( 2 (ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ
ﻞﺒﻴﺴﻳد= ةﺪﺣو ىﻮﺘﺴﻣ:ءﺎﺿﻮﻀﻟا
جﺮﺧ ةرﺎﺷﻹا:ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا20 ﻞﺠﺳ
ا
ﺐﻘﺛ ﺔﻟدﺎﻌﻣﻂﻐﻀﻟا
بﺎﺠﺤﻟا :ﺰﺟﺎﺤﻟا1 ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ
=
ﻢﺗ ﻢﻴﻤﺼﺗ ﻢﻈﻌﻣ تﺎﻧﻮﻓوﺮﻜﻴﻤﻟا ﻦﻣ20 ﱃإ80 ﻞﺒﻴﺴﻳد ﻲﻓ قﺎﻄﻧ ددﺮﺗ حواﺮﺘﻳ ﻦﻣ150 ﱃإ1000 ﺰﺗﺮﻫ
قﻮﺳ ﺺﺼﺨﺘﻣ ﻲﻓ تﻻﺎﺼﺗﻻا ﺔﻠﻘﻨﺘﻤﻟا تاﺪﻋﺎﺴﻤﻟاو ﺔﻴﻌﻤﺴﻟاﺔﻴﻛﺬﻟا
ص
= ﻂﻐﺿ ءاﻮﻬﻟا ﻲﻌﺟﺮﻤﻟا ﺪﻨﻋ ىﻮﺘﺴﻣ
تﻮﺼﻟاﻲﺳﺎﺳﻷا
لﺎﺧدإ ﺔﺟﻮﻤﻟا ﺔﻴﺗﻮﺼﻟا ﺔﺟﻮﻣ) ﻂﻐﺿ (ءاﻮﻬﻟا ﻞﺒﻴﺴﻳد ﺎﺠﻴﻣلﺎﻜﺳﺎﺑ
ص
ﻞﺒﻴﺴﻳد
بﻮﻘﺜﻟاﺔﻴﺗﻮﺼﻟا
ةﻮﺠﻓ ءاﻮﻬﻟا( 2 (ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ
تﺎﻘﻴﺒﻄﺗMicroactuations
Po ﺚﻴﺣ
= P ﻂﻐﺿ ءاﻮﻬﻟا(Pa)
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 35
تﺎﻛﺮﺣةﻮﻄﺨﻟا
ﺔﻋﻮﻤﺠﻣﺔﺘﺑﺎﺛ
أ
بﺎﻄﻗﻷا:ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا
ﻮﻴﻠﺑد
تﺎﻛﺮﺤﻤﻟا:ﺔﻴﻄﺨﻟا
'ب
د
• نﺎﺘﻋﻮﻤﺠﻣ ﻦﻣ بﺎﻄﻗﻷا ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا ﲆﻋ ﻞﻜﺷ حاﻮﻟأ ﺔﻟﻮﺼﻔﻣ ةدﺎﻤﺑ ﺔﻟزﺎﻋ ﻞﺜﻣ) ﻢﻠﻴﻓ .(ﺰﺗراﻮﻜﻟا• ﻢﺗ ﺖﻴﺒﺜﺗ ﺪﺣأ بﺎﻄﻗﻷا ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا ﺮﺧﻵاو
ﺪﻗ ﻖﻟﺰﻨﻳ ﻊﻣ ﻞﻴﻠﻗ ﻦﻣ .كﺎﻜﺘﺣﻻا• نﺎﺘﻋﻮﻤﺠﻤﻟا ﺎﻤﻬﻟ ﺔﻤﻐﻧ ﺔﻔﻠﺘﺨﻣ ًﻼﻴﻠﻗ ﻦﻴﺑ بﺎﻄﻗﻷا ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا :ﺐﻌﻠﻤﻟا ث+ / ث3
داﻮﻣﺔﻟزﺎﻋ
تﺎﻛﺮﺤﻤﻟاﺔﻘﻴﻗﺪﻟا
'أ
WW
ﲆﻋ ﺲﻜﻋ تﺎﻛﺮﺤﻤﻟا ، ﺔﻳﺪﻴﻠﻘﺘﻟا نﺈﻓ ىﻮﻘﻟا ﺔﻌﻓاﺪﻟا تﺎﻛﺮﺤﻤﻠﻟ ةﺮﻴﻐﺼﻟا ﻲﻫ ﻲﻓ سﺎﺳﻷا ىﻮﻘﻟا ﺔﻴﻜﻴﺗﺎﺘﺳوﺮﻬﻜﻟا ﺔﻳزاﻮﻤﻟا ﻦﻴﺑ جاوزأ ﻦﻣ ﺢﺋﺎﻔﺼﻟا
ﺔﻧﻮﺤﺸﻤﻟا ﺎًﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻛ ، (بﺎﻄﻗﻷا) ﺎﻤﻛ ﺢﻀﺘﻴﺳ ﻲﻓ ﻦﻴﺘﻟﺎﺤﻟا:ﻦﻴﺘﻴﻟﺎﺘﻟا
ج' 'د
ج
/ ث3
ب
تﺎﻘﻴﺒﻄﺗMicroactuations
كﺮﺤﺘﺗ ﺔﻋﻮﻤﺠﻣ
بﺎﻄﻗﻷا:ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 36
كﺮﺤﺘﺗ ﺔﻋﻮﻤﺠﻣ
بﺎﻄﻗﻷا:ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا
WW
• ﻂﻴﺸﻨﺗ ﺔﻋﻮﻤﺠﻤﻟاA A- فﻮﺳ' ﺪﻟﻮﻳ ةﻮﻗ ﺐﺤﺴﺗA' قﻮﻓA ﺐﺒﺴﺑ ةاذﺎﺤﻤﻟا ﺔﻴﻟوﻷا.ﺔﺌﻃﺎﺨﻟا
• راﺮﻜﺗ ﺲﻔﻧ ءاﺮﺟﻹا فﻮﺳ ﺐﺒﺴﺘﻳ ﻲﻓ تﺎﻛﺮﺣ ةﺮﻤﺘﺴﻣ تﺎﻋﻮﻤﺠﻤﻠﻟﺔﻛﺮﺤﺘﻤﻟا
ج
• ﻢﺠﺣ ةﻮﻄﺧ ﺔﻛﺮﺤﻟا3 ، w / = وأ ﻢﺠﺣ مﺪﻋ ﻖﺑﺎﻄﺗ ﻖﺒﺴﻣ ﻦﻴﺑ ﻲﺘﻋﻮﻤﺠﻣ بﺎﻄﻗﻷا.ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا
ﺔﻋﻮﻤﺠﻣ بﺎﻄﻗﻷا
ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا:ﺔﺘﺑﺎﺜﻟا
ﻮﻴﻠﺑد
ب
• ﻪﻧإ نﻵا ﻊﻣ مﺪﻋ ةاذﺎﺤﻣC و'C.
• ﺞﺘﻨﻴﺳ ﻂﻴﺸﻨﺗC و'C ﺔﻛﺮﺣ ةﻮﻄﺧ ىﺮﺧأ ﺔﻋﻮﻤﺠﻤﻠﻟ ﺔﻛﺮﺤﺘﻤﻟاقﻮﻓ
/ ث3
أ
ﺔﻋﻮﻤﺠﻣ.ﺔﺘﺑﺎﺛ
:ﺐﻌﻠﻤﻟا3w / + w
ج'
• دﺮﺠﻤﺑ ةاذﺎﺤﻣ "أ" و ، "أ" ﺢﺒﺼﻳ جوﺰﻟا "ب" و "ب" ﺮﻴﻏ.ﻦﻴﻳذﺎﺤﻣ
تﺎﻛﺮﺣةﻮﻄﺨﻟا
'د
داﻮﻣﺔﻟزﺎﻋ
• ﻂﻴﺸﻨﺗB B- ﺮﻴﻏ يذﺎﺤﻤﻟا ﺔﻗﺎﻄﻠﻟ فﻮﺳ' ﺪﻟﻮﻳ ةﻮﻗ ﺔﻴﻜﻴﺗﺎﺘﺳوﺮﺘﻜﻟإ ﺐﺤﺴﺗB' قﻮﻓB.
'أ
د
تﺎﻘﻴﺒﻄﺗCont'dActuations-Micro
'ب
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 37
تﺎﻘﻴﺒﻄﺗCont'dActuations-Micro
تﺎﻛﺮﺤﻤﻟا ﺔﺟرﺪﺘﻤﻟا:ةراوﺪﻟا
• ﻢﻗ ﻦﻴﻤﻀﺘﺑ ﻦﻴﺘﻋﻮﻤﺠﻣ ﻦﻣ بﺎﻄﻗﻷا ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا- ﺔﻋﻮﻤﺠﻣ ةﺪﺣاو ﻮﻀﻌﻠﻟ راوﺪﻟا ىﺮﺧﻷاو ءﺰﺠﻠﻟ .ﺖﺑﺎﺜﻟا• داﻮﻤﻟا ﺔﻟزﺎﻌﻟا ﻦﻴﺑ
ﻮﻀﻌﻟا راوﺪﻟا ءﺰﺠﻟاو ﺖﺑﺎﺜﻟا ةرﺎﺒﻋ ﻦﻋ .ءاﻮﻫ• ﺪﺟﻮﻳ مﺪﻋ ﻖﺑﺎﻄﺗ ﻖﺒﺴﻣ ﻦﻴﺑ تﺎﻤﻐﻧ بﺎﻄﻗﻷا ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا ﻲﻓ.ﻦﻴﺘﻋﻮﻤﺠﻤﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 38
راوﺪﻟا
ءﺰﺠﻟاﺖﺑﺎﺜﻟا
كﺮﺤﻣ ﺮﻴﻐﺻ ﻦﻣ جﺎﺘﻧإ ﺰﻛﺮﻣ هوﺮﺴﻟرﺎﻛ ثﺎﺤﺑﻸﻟ ﺔﻳوﻮﻨﻟا:ﺎﻴﻧﺎﻤﻟﺄﺑ
تﺎﻘﻴﺒﻄﺗMicroactuations- ﻊﺑﺎﺗ
ﺮﻴﺟ ﻞﻘﻨﻟ مﺰﻋ
ناروﺪﻟا
• أﺪﺒﻣ ﻞﻤﻌﻟا ﻲﻓ اﺬﻫ كﺮﺤﻤﻟا راوﺪﻟا ﻪﺑﺎﺸﻣ ﻚﻠﺘﻟ ةدﻮﺟﻮﻤﻟا ﻲﻓ تﺎﻛﺮﺤﻤﻟا.ﺔﻴﻄﺨﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 39
• مﺎﻤﺻ ﻖﻴﻗد صﺎﺧ ﻪﻤﻤﺻ نﺎﻣﺮﻴﺟ مﺎﻋ• 1990. يﺮﺋاد ﻲﻓ ، ﺔﺳﺪﻨﻬﻟا ﺮﻄﻘﺑ2.5 ﻢﻣ10 × .نوﺮﻜﻴﻣ• ﻢﺘﻳ ﻞﻴﻐﺸﺗ مﺎﻤﺼﻟا ﺔﻄﺳاﻮﺑ ةﻮﻘﻟا ﺔﻳراﺮﺤﻟا ﺔﺠﺗﺎﻨﻟا ﻦﻋ تﺎﻘﻠﺣ
.ﻦﻴﺨﺴﺘﻟا• ﺔﻘﻠﺣ ﻦﻴﺨﺴﺘﻟا ﺔﻋﻮﻨﺼﻣ ﻦﻣ ﻖﺋﺎﻗر مﻮﻴﻨﻣﻮﻟﻷا ﻚﻤﺴﺑ5 .ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ• مﺎﻤﺼﻟا ﺔﻌﺴﺑ300 ﻢﺳ3 / ﺔﻘﻴﻗد ﺪﻨﻋ ﻂﻐﺿ ﻊﺋﺎﻣ100 / ﻞﻃر ﺔﺻﻮﺑ .ﺔﻌﺑﺮﻣ•
كﻼﻬﺘﺳا ﺔﻗﺎﻄﻟا1.5 .تاو
ﻖﻓﺪﺗﻞﺧاﺪﻟا
ةﺪﻋﺎﻗﺪﻴﻘﻟا
ﻂﺧﻂﺳﻮﻟا
ﺔﻣوﺎﻘﻤﻟاﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا
نﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا
ﺬﻔﻨﻣﻖﻓﺪﺘﻟا
تﺎﻘﻠﺣﻦﻴﺨﺴﺗ
ةﺪﻋﺎﻗ
Microvalves
ءﺎﺸﻏ نﻮﻜﻴﻠﻴﺳنﺮﻣ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 40
بﺎﺠﺤﻟاﺰﺟﺎﺤﻟا
مﺎﻤﺻ
ﻂﻐﺿﺾﻔﺨﻨﻣ
ﺪﻴﻗ
ﺲﻣﺎﺨﻟا
ﺔﻠﺑﺎﻗﻲﻄﻠﻟ
ﺬَﻔﻨَﻣ
جﺮﺨﻣﻞﺋاﻮﺴﻟا
نﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا
ﺺﺤﻔﻳ
ﺔﺨﻀﻣ ةﺮﻴﻐﺻ ﻞﻤﻌﺗ ءﺎﺑﺮﻬﻜﻟﺎﺑ:ﺔﻨﻛﺎﺴﻟا
ﻞﺧﺪﻣ
ﻞﺧﺪﻣﻞﺋاﻮﺴﻟا
• ﺔﺨﻀﻣ ﻞﻤﻌﺗ ءﺎﺑﺮﻬﻜﻟﺎﺑ ﺔﻨﻛﺎﺴﻟا مﺎﻋ• 1992. ﺔﺨﻀﻤﻟا ﺔﻌﺑﺮﻣ ﻞﻜﺸﻟا ﺔﻛﺎﻤﺴﺑ4 ﻢﻣ4 × ﻢﻣ25 × .نوﺮﻜﻴﻣ• ةﻮﺠﻔﻟا ﻦﻴﺑ بﺎﺠﺤﻟا ﺰﺟﺎﺤﻟا ﺐﻄﻘﻟاو ﻲﻫ4
.ﺮﺘﻣوﺮﻜﻴﻣ• لﺪﻌﻣ ﺦﻀﻟا70 / ﺮﺘﻟوﺮﻜﻴﻣ ﺔﻘﻴﻗد ﺪﻨﻋ25 .ﺰﺗﺮﻫ
مﺎﻤﺻ
ﺺﺤﻔﻳ
ﻂﻐﺿﻊﻔﺗﺮﻣ
ﺐﻄﻗﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻛ
ةﺪﻋﺎﻗ
تﺎﺨﻀﻣةﺮﻴﻐﺻ
ﺔﻓﺮﻏﺦﻀﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 41
ﻖﻓﺪﺗ
ﻊﻣ تﻻﻮﺤﻣ مﻮﻴﻨﻤﻟﻷا ﻦﻴﺑ ﻊﺑﺎﺻﻷا• (IDTs). ﻢﺘﻳ ﻖﻴﺒﻄﺗ ﺪﻬﺟ ددﺮﺗ ﻮﻳداﺮﻟا ﲆﻋIDTs ، ﺎﻤﻣ يدﺆﻳ ﱃإ ﻂﻐﺿ
ﻲﻜﻴﻧﺎﻜﻴﻣ ﻲﻓ ﻢﺴﻗ ﻦﻣ بﻮﺒﻧﻷا ﻪﺑﺎﺸﻣ) ﺮﺼﻌﻟ نﻮﺠﻌﻣ (نﺎﻨﺳﻷا• ﻖﻓﺪﺗ ﺲﻠﺳ ﻊﻣ ﻒﻠﻣ ﻒﻳﺮﻌﺗ ﺔﻋﺮﺳ "ﻢﻈﺘﻨﻣ" ﺮﺒﻋ
ﻊﻄﻘﻤﻟا ﻲﺿﺮﻌﻟا.بﻮﺒﻧﻸﻟ
ﺲﻣﺎﺨﻟا
• ﺔﻘﻳﺮﻃ ﺔﻟﺎﻌﻓ ﺦﻀﻟ ﻞﺋاﻮﺴﻟا ﻦﻣ لﻼﺧ ﺐﻴﺑﺎﻧﻷا .ﺔﻳﺮﻌﺸﻟا• راﺪﺟ بﻮﺒﻧﻷا .نﺮﻣ• راﺪﺟ بﻮﺒﻧﻷا ﻲﺟرﺎﺨﻟا ﻰﻄﻐﻣ ءﺎﺸﻐﺑ
يرﻮﻠﺑ ، ﺔﻴﻄﻐﺿﺮﻬﻛ ﲆﻋ ﻞﻴﺒﺳ لﺎﺜﻤﻟاZnO
ﻂﺋﺎﺣ
F
ﺔﺨﻀﻣ ﻞﻤﻌﺗ ءﺎﺑﺮﻬﻜﻟﺎﺑ:ﺔﻴﻃﺎﻐﻀﻧﻻا
بﻮﺒﻧأنﺮﻣ
ءﻼﻃ ﺔﻴﻄﻐﺿﺮﻬﻛ ﻊﻣلﻮﺤﻣ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 42
ﻞﻴﻠﻘﺗةراﺮﺤﻟا
ﺮﺨﺒﻤﻟا
ﻢﺴﻗAdiabatic
رﺪﺼﻣةراﺮﺤﻟا
ﻢﺴﻘﻟاm) 100 (dp x ﻲﻓ ﺲﻣﻼﺗ ﻊﻣ رﺪﺼﻣ ، ةراﺮﺤﻟا ﲆﻋ
ﻞﻴﺒﺳ ، لﺎﺜﻤﻟاIC ﺖﺘﺸﻤﻟاو ، يراﺮﺤﻟا ﲆﻋ ﻞﻴﺒﺳ ، لﺎﺜﻤﻟا
ءاﻮﻬﻟا درﺎﺒﻟا ﻂﻴﺤﻤﻟا ءاﻮﻬﺑ ﺪﻳﺮﺒﺘﻟا ﺔﻄﺳاﻮﺑ.ﺔﺣوﺮﻣ
• ﺮﺨﺒﺘﻳ ﻞﺋﺎﺴﻟا ﺪﻨﻋ ﻪﻟﻮﺻو ﱃإ ﺖﺘﺸﻤﻟا يراﺮﺤﻟا• ةرود ﻞﻘﻧ ةراﺮﺤﻟا رﺮﻜﺗ
ﺎﻬﺴﻔﻧ ﺎﻤﻟﺎﻃ ﺖﻠﻇ تﺎﻓﻼﺘﺧﻻا ﻲﻓ ﺔﺟرد ةراﺮﺤﻟا ﻦﻴﺑ رﺪﺼﻣ ةراﺮﺤﻟا
.ﺔﻠﺴﻐﻤﻟاو
ضﻮﺣ
ﻊﻃﺎﻘﻤﻟاﺔﻴﺿﺮﻌﻟا
• بﻮﺒﻧﻷا يﻮﺘﺤﻳ ﲆﻋ ، ﻞﺋﺎﺳ ﻞﺜﻣ .لﻮﻧﺎﺜﻳﻹا• ﺮﺨﺒﺘﻳ ﻞﺋﺎﺴﻟا بﺮﻘﻟﺎﺑ ﻦﻣ
رﺪﺼﻣ . ةراﺮﺤﻟا• ﻖﻓﺪﺘﻳ رﺎﺨﺒﻟا هﺎﺠﺗﺎﺑ ﺖﺘﺸﻤﻟا يراﺮﺤﻟاﺐﺒﺴﺑ
ﺮﻓﻮﺗ ﺐﻴﺑﺎﻧأ ةراﺮﺤﻟا ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا ًﻼﺣ اًﺪﻋاو ﺪﻳﺪﺒﺘﻟ ةراﺮﺤﻟا لﺎﻌﻔﻟا ﻲﻓ ﺮﺋاود تﺎﻴﻧوﺮﺘﻜﻟﻹا ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا ﺔﻴﺌﻳﺰﺠﻟاو ﺎﻤﻛ ﻢﺘﻴﺳ ﻪﻤﻳﺪﻘﺗ ﻲﻓ ﻞﺼﻔﻟا12.
قﺮﻔﻟا ﻲﻓ ﺔﺟردةراﺮﺤﻟا
رﺪﺼﻣ
رﺎﺨﺑ
• بﻮﺒﻧأ ﻪﺑ ﺚﻠﺜﻣ وأ ﻪﺒﺷفﺮﺤﻨﻣ
• ﻒﺜﻜﺘﻳ رﺎﺨﺒﻟا ﻲﻓ ﺔﻛﺮﺤﻟا ﺐﺒﺴﺑ ضﺎﻔﺨﻧا ﺔﺟرد ةراﺮﺤﻟا• لﻮﺤﺘﻳ رﺎﺨﺒﻟا
ﱃإ ﻞﺋﺎﺳ بﺮﻘﻟﺎﺑ ﻦﻣ ﺖﺘﺸﻤﻟا يراﺮﺤﻟا• كﺮﺤﺘﻳ ﻞﺋﺎﺴﻟا ﻒﺜﻜﻤﻟا ﻲﻓ
ﺎﻳاوﺰﻟا ةدﺎﺤﻟا هﺎﺠﺗﺎﺑ ﺖﺘﺸﻤﻟا يراﺮﺤﻟا ﺐﺒﺴﺑ ﺮﻴﺛﺄﺘﻟايﺮﻌﺸﻟا
عﺎﻔﺗرا
ﺐﻴﺑﺎﻧأ ةراﺮﺤﻟا= ﺔﻤﻈﻧﻷا ﺔﻘﻠﻐﻤﻟا ﻲﺘﻟا ﻞﻘﻨﺗ ةراﺮﺤﻟا ﻦﻣ رﺪﺼﻣ ةراﺮﺤﻟا ﺪﻨﻋ ﺔﺟرد ةراﺮﺣ ﲆﻋأﱃإ
ﻞﺋﺎﺳ
ﺔﻋﻮﻟﺎﺑ ةراﺮﺤﻟا@ ﺔﺟرد ةراﺮﺣ .ﺔﻀﻔﺨﻨﻣ ﺎًﺒﻟﺎﻏ ﺎﻣ رﺎﺸﻳ ﺎﻬﻴﻟإ ﻢﺳﺎﺑ تﺎﺨﻀﻣ"."ةراﺮﺤﻟا
ةراﺮﺣ
ةراﺮﺣ
ﺮﻴﺳاﻮﻣ وﺮﻜﻳﺎﻣﺖﻴﻫ
ﻒﺜﻜﻣ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 43
ﻊﻴﺑرك
Dashpot
ﻊﻣ
ةﺰﻬﺟأ سﺎﻴﻗ عرﺎﺴﺘﻟاﺔﻘﻴﻗﺪﻟا
ﻢﺘﻳ ﻞﻴﺻﻮﺗ سﺎﻴﻘﻣ عرﺎﺴﺘﻟا
ﻢﺴﺠﻟﺎﺑ ﺐﻠﺼﻟاﺰﺘﻬﻤﻟا
م
ﻢﺴﺟﺐﻠﺻ
• ﺎﻳﺪﻴﻠﻘﺗ مﺪﺨﺘﺴﻳ سﺎﻴﻘﻣ عرﺎﺴﺘﻟا سﺎﻴﻘﻟ هﺬﻫ .ىﻮﻘﻟا• سﺎﻴﻘﻣ عرﺎﺴﺘﻟا ﻲﺟذﻮﻤﻨﻟا نﻮﻜﺘﻳ ﻦﻣ ﺔﻠﺘﻛ" "ﺔﻴﻗاو ﺔﻣﻮﻋﺪﻣ ﺾﺑﺎﻨﺑ و" ﺔﺣﻮﻟ "ةدﺎﻴﻘﻟا ﺪﻴﻤﺨﺘﻟ ﺔﻠﺘﻜﻟا ﺔﻣوﺎﻘﻤﻟا
:زاﺰﺘﻫﻼﻟ
ﺔﻠﺘﻛ
ج
.ءﺎﻴﺷأ
ﺰﺘﻬﺗ
ﺪﻴﻤﺨﺘﻟا
• مﺪﺨﺘﺴُﺗ ﺲﻴﻳﺎﻘﻣ عرﺎﺴﺘﻟا سﺎﻴﻘﻟ ىﻮﻘﻟا ﺔﻴﻜﻴﻣﺎﻨﻳﺪﻟا ﺔﻄﺒﺗﺮﻤﻟا مﺎﺴﺟﻷﺎﺑ .ﺔﻛﺮﺤﺘﻤﻟا• ﻂﺒﺗﺮﺗ هﺬﻫ ىﻮﻘﻟا ﺔﻋﺮﺴﺑ عرﺎﺴﺗوﺔﻛﺮﺤﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 44
ﺔﻠﺘﻛ
ىد ر( ) تد( )DYT
د
• ﻢﺘﻳ لﻮﺼﺤﻟا ﲆﻋ ةﻮﻘﻟا ﺔﻴﻜﻴﻣﺎﻨﻳﺪﻟا ﺔﺒﺣﺎﺼﻤﻟا ﺔﺠﺗﺎﻨﻟا ﻦﻋ ةدﺎﻤﻟا ﺔﺒﻠﺼﻟا ﺔﻛﺮﺤﺘﻤﻟا ماﺪﺨﺘﺳﺎﺑ نﻮﻧﺎﻗ ، ﻦﺗﻮﻴﻧ يأ(t) ، α M = (t) F ﺚﻴﺣ=
M ﺔﻠﺘﻛ ةدﺎﻤﻟا ﺔﺒﻠﺼﻟا.ﺔﻛﺮﺤﺘﻤﻟا
ﺪﻨﻋ ﺮﻴﻐﺼﺗ ﺲﻴﻳﺎﻘﻣ عرﺎﺴﺘﻟا ﱃإ سﺎﻴﻘﻤﻟا ، ﻲﺋﺰﺠﻟا ﻻ ﺪﺟﻮﻳ نﺎﻜﻣـﻟ
ﺐﺠﻳ دﺎﺠﻳإ ﻞﺋاﺪﺑ ﺔﻴﻛﺮﺒﻧز ، ﺔﻴﺒﻟﻮﻟ ﺔﺤﺳﺎﻓو ، ةدﺎﻴﻘﻟا ﻰﺘﺣو ﺔﻠﺘﻛ.تﺎﺒﺛﻹا
م
• ﺔﺣازﻹا ﺔﻴﻈﺤﻠﻟا ﺔﻠﺘﻜﻠﻟ(t) y ﻲﺘﻟا ﺎﻬﺒﺒﺴﻳ ﻢﺴﺠﻟا ﺐﻠﺼﻟا كﺮﺤﺘﻤﻟا ﻖﻓﺮﻤﻟا ﻢﺘﻳ
ﺎﻬﺳﺎﻴﻗ ﺎﻬﻠﻴﺠﺴﺗو ﺎﻤﻴﻓ ﻖﻠﻌﺘﻳ ، ﺖﻗﻮﻟﺎﺑt.
ىد ر( )()
ر=α
=
ﻊﻴﺑرك
dt= t V
2
سﺎﻴﻘﻣ عرﺎﺴﺘﻟاﻮﻫ
ﺰﺘﻬﺗ
و
ﻖﻠﻌﺗ ﲆﻋ ﻢﺴﺠﻟا ﺐﻠﺼﻟاﺰﺘﻬﻤﻟا
ﻢﺴﺟﺐﻠﺻ
• ﻦﻜﻤﻳ لﻮﺼﺤﻟا ﲆﻋ ﺔﻋﺮﺴﻟا ، ﺔﺒﺣﺎﺼﻤﻟا(t) V ﺔﻠﺠﻌﻟاو(t) α ﻦﻣ لﻼﺧ تﺎﻘﺘﺸﻤﻟا:ﺔﻴﻟﺎﺘﻟا
( )
ﺾﺑاﻮﻧ ﺔﻴﺒﻟﻮﻟ ةﺬﻓﺎﻧو ﻂﻴﺒﺜﺘﻟ ﺔﻠﺘﻜﻟا.ةﺰﺘﻬﻤﻟا
Dashpot
ﻊﻣﺪﻴﻤﺨﺘﻟا
ﺲﻴﻳﺎﻘﻣ عرﺎﺴﺘﻟا ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا- ﻊﺑﺎﺗ
ج
2
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 45
رﻮﺘﺴﻳروﺰﻴﺑ
ةﺪﻋﺎﻗﺪﻴﻘﻟا
ﺮﺘﻣوﺮﻴﻟأوﺮﻜﻴﻣ- ﻊﺑﺎﺗ
مﺰﺤﻟا
فﻼﻏ
ﻢﺘﻳ ﺬﻴﻔﻨﺗ ﺔﻛﺮﺣ ﺔﻠﺘﻜﻟا ﺔﻴﺗﺎﺒﺛﻹا ﺔﻄﺳاﻮﺑ موﺎﻘﻤﻟا ﻲﻃﺎﻐﻀﻧﻻا.ﻖﻓﺮﻤﻟا
ﻞﺋﺎﺴﻟا جﺰﻠﻟا ﻂﻴﺤﻤﻟا= ﺔﻄﻘﻧ ةدﺎﻴﻘﻟا ﺪﻴﻤﺨﺘﻟ ﺔﻠﺘﻛتﺎﺒﺛﻹا
ﺊﺗﺎﻧنﻮﻜﻴﻠﻴﺴﻟا
، ﺔﻠﺘﻜﻟام
ةﺪﻋﺎﻗﺰﺘﻬﺗ
(1) سﺎﻴﻘﻣ عرﺎﺴﺗ عﺎﻌﺷ:ﺊﺗﺎﻧ
ﻲﻓ اﺬﻫ :ﻢﻴﻤﺼﺘﻟا عﺎﻌﺷ ﺊﺗﺎﻧ= كﺮﺒﻧز؛ ﻲﺒﻟﻮﻟ
ةﺪﻋﺎﻗﺪﻴﻘﻟا
• ﺮﻓﻮﺘﻳ نﺎﻋﻮﻧ ﻦﻣ ﺲﻴﻳﺎﻘﻣ عرﺎﺴﺘﻟا.ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 46
ﻊﻳﺮﺴﺘﻟا
ﺲﻴﻳﺎﻘﻣ عرﺎﺴﺘﻟا ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا- ﻊﺑﺎﺗ
ءاﻮﻬﻟا ﻂﻴﺤﻤﻟا= ﺔﺣﻮﻟةدﺎﻴﻘﻟا
بﺎﻄﻗأ
ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻛﺔﺘﺑﺎﺛ
نﻻﺎﺒﺣ نﺎﻴﻓﺮﻃ= تﺎﻛﺮﺒﻧز
• ﺔﻛﺮﺣ ﺔﻠﺘﻛ تﺎﺒﺛﻹا ﻢﺘﺗ ﻦﻋ ﻖﻳﺮﻃ سﺎﻴﻗﺮﻴﻴﻐﺘﻟا
• ﻲﻓ اﺬﻫ :ﻢﻴﻤﺼﺘﻟا ﺔﺿرﺎﻋ ﺔﺤﻴﻔﺻ= ﺔﻠﺘﻛ؛ ﺔﻴﻗاو
تﺎﻌﺴﻟا ﻦﻴﺑ جاوزأ بﺎﻄﻗﻷا.ﺔﻴﺋﺎﺑﺮﻬﻜﻟا
ﺐﻄﻗ ﻲﺋﺎﺑﺮﻬﻛكﺮﺤﺘﻣ
(2) سﺎﻴﻘﻣ عرﺎﺴﺘﻟا ﻖﻴﻗﺪﻟا :نزاﻮﺘﻤﻟا• اﺬﻫ ﻮﻫ مﻮﻬﻔﻤﻟا مﺪﺨﺘﺴﻤﻟا ﻲﻓ ﺮﻌﺸﺘﺴﻣ ﺮﺸﻧ ةدﺎﺳﻮﻟا" "ﺔﻴﺋاﻮﻬﻟا ﻲﻓتارﺎﻴﺴﻟا
مﺰﺤﻟا
ﺔﻛﺮﺣ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 47
ﺔﺒﺴﻨﻟﺎﺑ ﱃإ ةدﺎﻣ ﺔﺒﻠﺻ ﺔﻛﺮﺤﺘﻣ ﺔﻋﺮﺴﺑ ﺔﻴﻄﺧv ، ﻦﻜﻤﻳ نأ ﻂﺒﺗﺮﻳ يأ نارود لﺪﻌﻤﻟﺎﺑΩ ةﻮﻘﺑ ﺲﻴﻟﻮﻳرﻮﻛ ﺔﺜﺤﺘﺴﻤﻟاFc ﺮﻴﺒﻌﺘﻟﺎﺑ:ﻲﻟﺎﺘﻟا
2
ذ
(ج)
ض
Ω
ض
كﺮﺤﺘﺗﺔﺒﻠﺼﻟا
(ب)
ذ
ذ
x
ض
x
Ω
ذ
(د)
بﻮﻜﺳوﺮﻴﺠﻟا ﻮﻫ ﻞﻜﺷ ﻦﻣ لﺎﻜﺷأ سﺎﻴﻘﻣ عرﺎﺴﺘﻟا يﺬﻟا ﺲﻴﻘﻳ تﻻﺪﻌﻣ ناروﺪﻟا.يواﺰﻟا
ض
ذ
x
Ω
ض
ﺲﻣﺎﺨﻟا
Ω
وmv سΩ
ﺚﻴﺣ م= ﺔﻠﺘﻛ
(أ)
فإﻲﺳ
ذ
فإﻲﺳ
x
x
ذ
ﻢﺘﻳ ﺢﻴﺿﻮﺗ ﻰﻨﻌﻣ هﺎﺠﺗاو تﺎﻴﻤﻜﻟا ﺔﻬﺠﺘﻤﻟا ﻲﻓ ﺮﻴﺒﻌﺘﻟا
هﻼﻋأ ﱃإﻦﻴﻤﻴﻟا
ص
فإﻲﺳ
• ﻦﻜﻤﻳ ﻲﻟﺎﺘﻟﺎﺑ ماﺪﺨﺘﺳا تﺎﺑﻮﻜﺳوﺮﻴﺠﻟا ﺔﻠﺻﻮﺒﻛ ﻲﻓ ﺔﻤﻈﻧأ
ﺔﺣﻼﻤﻟا تاذ ﺢﻴﺤﺼﺘﻟا ﻲﺗاﺬﻟا ﻦﻔﺴﻠﻟ ، تاﺮﺋﺎﻄﻟاو
تﺎﺒﻛﺮﻤﻟاو ، ﺔﻴﺋﺎﻀﻔﻟا ﻞﻘﻨﻟاو يﺮﺸﺒﻟاSegway.
ﺲﻣﺎﺨﻟا
ص
فإﻲﺳ
ﺔﻳﺮﻬﺠﻤﻟا
x
ض
ذ
ض
x
x
ض
ﻦﻜﻤﻳ نأ يدﺆﻳ ﺮﻴﻴﻐﺗ ﺔﻋﺮﺳ ناروﺪﻟا(Ω) ةدﺎﻤﻠﻟ ﺔﺒﻠﺼﻟا ﱃإ ثاﺪﺣإ ةﻮﻗ ﺲﻴﻟﻮﻳرﻮﻛ(Fc).
ص
ﺲﻣﺎﺨﻟا
ﺲﻣﺎﺨﻟا
=
ج
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 48
رﺎﻃإناروﺪﻟا
x
ذ
x
ص ﻊﻴﺑﺮﻟال
ذ
ﻞﻴﻟد
x- ﺰﻛﺮﻤﻟا
ﺔﻠﺘﻛ
تﺎﺑﻮﻜﺳوﺮﻜﻴﻤﻟا ﺔﻠﺼﺘﻣ ﻞﻜﻴﻬﻟﺎﺑ ﺐﻠﺼﻟا.كﺮﺤﺘﻤﻟا
نﺎﻧﺮﻣ ﺔﻛﺮﺤﻠﻟﺔﻴﻄﺨﻟا
مﺪﺨﺘﺴُﺗ ىﻮﻗColioris ﺔﺜﺤﺘﺴﻤﻟا ﻢﻴﻈﻨﺘﻠﻟ ﻲﺗاﺬﻟا ﻞﻘﻨﺘﻠﻟ ﻲﻓ ﻞﻛﺎﻴﻬﻟا.ﺔﻛﺮﺤﺘﻤﻟا
ﺮﺷﺎﻌﻟاﻊﻴﺑﺮﻟا
ﻞﺜﻣ ةﺰﻬﺟأ سﺎﻴﻗ عرﺎﺴﺘﻟا ، ﺔﻘﻴﻗﺪﻟا مﺪﺨﺘﺴﺗ تﺎﺑﻮﻜﺳوﺮﻜﻴﻤﻟا تﻼﻐﺸﻣ تاذ كﺮﺤﻣ ﻂﺸﻣ ﺾﺑاﻮﻧو عﺎﻌﺷ وأ ﻂﺑر ﻚﻳﺮﺤﺘﻟ ﺔﻛﺮﺣ ﺔﻠﺘﻛ ، تﺎﺒﺛﻹا ﻚﻟﺬﻛو
رﺎﻌﺸﺘﺳﻻ سﺎﻴﻗو لﺪﻌﻣ نارود.بﻮﻜﺳوﺮﻴﺠﻟا
ﻞﻴﺟ
ةﻮﻗ
صﻒﻗﻮﻤﻟا
ﻞﻜﻴﻫبﻮﻜﺳوﺮﻜﻴﻣ
تﺎﺳﺎﻴﻗ
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Slide 49
ﺔﻳﺎﻬﻧ ﻞﺼﻔﻟا2
-;=BCH? 4L;HMF;N?> <S 'IIAF?
Tags
Categories
Technology
Download
Download Slideshow
Get the original presentation file
Quick Actions
Embed
Share
Save
Print
Full
Report
Statistics
Views
7
Slides
49
Age
45 days
Related Slideshows
11
8-top-ai-courses-for-customer-support-representatives-in-2025.pptx
JeroenErne2
46 views
10
7-essential-ai-courses-for-call-center-supervisors-in-2025.pptx
JeroenErne2
46 views
13
25-essential-ai-courses-for-user-support-specialists-in-2025.pptx
JeroenErne2
37 views
11
8-essential-ai-courses-for-insurance-customer-service-representatives-in-2025.pptx
JeroenErne2
34 views
21
Know for Certain
DaveSinNM
21 views
17
PPT OPD LES 3ertt4t4tqqqe23e3e3rq2qq232.pptx
novasedanayoga46
26 views
View More in This Category
Embed Slideshow
Dimensions
Width (px)
Height (px)
Start Page
Which slide to start from (1-49)
Options
Auto-play slides
Show controls
Embed Code
Copy Code
Share Slideshow
Share on Social Media
Share on Facebook
Share on Twitter
Share on LinkedIn
Share via Email
Or copy link
Copy
Report Content
Reason for reporting
*
Select a reason...
Inappropriate content
Copyright violation
Spam or misleading
Offensive or hateful
Privacy violation
Other
Slide number
Leave blank if it applies to the entire slideshow
Additional details
*
Help us understand the problem better