RTA使用手冊.pptx.............................

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1. RTA 教學手冊

2. RTA 前置檢查水、電、氣 (1/3)( 可確認廠務開機手冊 ) 確認冰機水泵、 PCW 水泵、抽排有亮起 確認所需的電源打開 ( 冰水機、冰水泵、 PCW 水泵、空壓機、乾燥機、氮氣機、抽排氣 ) 2 一定要先開 確認遠端冰機、冰機水泵、 PCW 水泵、一般抽排氣開啟成功

3. RTA 前置檢查水、電、氣 (2/3)( 可確認廠務開機手冊 ) 確認 RTA 機台用電開啟 一定要先開

4. RTA 前置檢查水、電、氣 (3/3)( 可確認廠務開機手冊 ) 確認乾燥機開啟 確認空壓機開啟 確認氮氣打開 確認氮氣機打開 綠色燈 要亮起

5. 開機程序 (1/2) 將 CDA 開啟 ( 與管路垂直表示開啟 ) 開啟 PCW( 先開出水，再開入水 ) 出水 入水

6. 開機程序 (2/2) 開啟主電源，將 RTA 機身後方開關從 OFF 扳至 ON 將電腦 電源 主機開啟 將機身前方電源開啟 ( 綠色按鈕按下去 )

7. 開啟桌面 RTA 軟體 開機 輸入帳號密碼 ad/123 登入後主畫面

8. 氣體 開啟 程序 需要破真空時開起即可 調整氣體流量 O 2 N 2

9. 實驗樣品放置 放置好樣品，將待測物放置好推回關好 放入實驗樣品 注意溫度感測棒要與載台接觸到 拉開載台

10. 抽真空 實驗參數設定 點選開啟程序， 開啟之前設定好的舊 PID 參數 將腔體抽真空，使腔體內雜質量降低，並防止實驗樣品氧化

11. 實驗參數調整 Idle 閒置 用來抽真空通氣體 Ramp up 升溫 Hold 持溫 Stop 停止 按 Recipe 至 參數設定介面 建議先升溫到 200 度讓腔體載盤達到溫度均勻性

12. 設定好參數值後存檔 實驗參數存檔 或是開啟舊檔 ， 按 開啟舊檔 ，再來選 Open Log 開啟之前的模擬檔案

13. 執行 熱 退火 執行熱退火 執行加工 顯示參數設定模擬圖 工藝曲線

14. 工藝曲線數據 橘色線 真空氣壓值 藍色線 模擬圖 紅色線 當前溫度值 黃色線 燈泡功率強度值

15. 待腔體溫度降至 70 度以下時， 破真空， 使 氣壓值回到 760 Torr 破真空 實驗樣品拿取 將載台開起，拿出實驗樣品後關閉

16. 機台關閉流程 (1/4) 點擊開起泵，開始抽真空抽到 點多 ( 保持腔體潔淨度 ) 開啟氮氣

17. 按下 結束離開 關閉程式 機台關閉流程 (2/4) 確認有無關掉 POWER OFF ( 須手動自己按 ) 電腦關機

18. 機台關閉流程 (3/4)

19. 機台關閉流程 (4/4) 關閉 PCW( 先關入水，再關出水 ) 出水 入水

20. 將水、電、氣關閉 (1/2)( 可參照廠務關機手冊 ) 將 PCW 水泵關掉 將一般排氣關掉

21. 將水、電、氣關閉 (2/2) 將氣體室氮氣閥關閉 按下氮氣機 PAS STOP 等待停機完畢 關閉氮氣機出氣、入氣 將水、電、氣關閉 (2/2)( 可參照廠務關機手冊 )